【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体加工领域，尤其涉及一种平行度测量装置。
技术介绍
1、在精密加工过程中，加工设备的研磨头和工作平台上的工件需保持平行，百分表是一种精密测量工具，用于测量工件表面的微小变化以及研磨头和工件之间的平行度，将百分表安装在加工设备的机械臂上，如此可以随着机械臂的移动在工件表面滑动，根据百分表测量得到的平行度数据，可以判断研磨头和工件是否平行，若平行度在允许的误差范围内，则认为二者平行，若平行度不在允许的误差范围内，则认为二者不平行，需要进一步调整。
2、目前在测量平行度的环节中，存在的问题主要为百分表无法直接安装在加工设备的机械臂上，导致无法实现对研磨头和工件的平行度进行精确测量。原因是加工设备的机械臂缺乏相应的安装百分表的接口设计，使得百分表无法稳定地附着在机械臂上，进而影响了测量的准确性和操作的便利性。
3、故如何提高机械臂和百分表的连接稳定性是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请提供了一种平行度测量装置，实现了可移动组件和测量组
【技术保护点】
1.一种平行度测量装置，包括测量组件和可移动组件，其特征在于，还包括用于连接所述测量组件和所述可移动组件的安装组件；
2.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，所述安装板件包括垂直连接的第一安装板件和第二安装板件；
3.根据权利要求2所述的平行度测量装置，其特征在于，所述固定件包括第一固定件和第二固定件；
4.根据权利要求3所述的平行度测量装置，其特征在于，所述第二安装孔的数量为多个；
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的平行度测量装置，其特征在于，所述可移动组件设于待测工件的上方。
6.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种平行度测量装置，包括测量组件和可移动组件，其特征在于，还包括用于连接所述测量组件和所述可移动组件的安装组件；
2.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，所述安装板件包括垂直连接的第一安装板件和第二安装板件；
3.根据权利要求2所述的平行度测量装置，其特征在于，所述固定件包括第一固定件和第二固定件；
4.根据权利要求3所述的平行度测量装置，其特征在于，所述第二安装孔的数量为多个；
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的平行度测量装置，其特征在于，所述可移动组件设于待测工件的上方。
6.根据权利要求5所述的平行度测量装置，其特征在于，所述可移动组件朝向所述待测工件的一面设有安装端，所述安装端配置为安装加工组件，所述加工组件配置为在所述可移动组件的带动下加工所述待测工件。
...【专利技术属性】
技术研发人员：肖兆海，陈国亮，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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