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本技术涉及一种晶圆的生产装置，尤其是一种晶圆定位装置，包括夹爪气缸，还包括：定位块，对称固定在所述夹爪气缸的夹爪上，所述定位块上设有夹紧弧面；若干弹性块，固定在所述夹紧弧面上，且每个所述夹紧弧面上的弹性块均不少于两个，所述弹性块还与晶圆相对...
该专利属于吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司授权不得商用。

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