一种旋转DOE装置及晶圆加工隐切设备制造方法及图纸

本申请公开了一种旋转DOE装置及晶圆加工隐切设备，属于半导体领域。一种旋转DOE装置包括一DOE安装盘、若干镜片安装组件、若干镜片、一弹簧挡板、若干压缩弹簧、若干调节组件和一伺服电机；弹簧挡板和镜片安装组件均设置在DOE安装盘上，弹簧挡板设置在正中，镜片安装组件均匀分设在弹簧挡板的外周，并通过压缩弹簧与弹簧挡板弹性连接；镜片设置在镜片安装组件内；调节组件设置在镜片安装组件外侧，并与镜片位置可调性连接；伺服电机与DOE安装盘连接并能够带动DOE安装盘旋转，实现不同镜片的切换。本申请可以在不同镜片之间自动高精度切换，满足晶圆切割工序时需要频繁在一些DOE光学元件中来回切换的需求。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体，涉及退火或固化热处理，具体涉及一种旋转doe装置及晶圆加工隐切设备。

技术介绍

1、doe(diffractiveopticalelement)衍射光学元件，是一种基于光波衍射原理，利用计算机辅助设计而形成的光学元件。doe在光路中起到衍射屏的作用，其作用是破坏原有自空间的波前并重新构建波前，从而使衍射场重新分布。衍射元器件可以实现许多功能和光操作，可以显著提高光路整体系统性能，被广泛运用于透光材质的激光切割光路中。在加工晶圆的隐切设备上也使用doe光学元件，能够改变改质层的斜裂角，方便晶圆后续封装。

2、现有的doe光学元件安装在光路中，如果需要进行调整或者更换，需要人工手动调节和更换。如果在执行一道切割工序时需要频繁在一些doe光学元件中来回切换，这种依靠人工去安装调整的方式不仅工作量大，而且会严重降低设备的工作效率；且在一道工序中，频繁的安装调整光学元件，也会影响加工精度。现有技术中也有采用限位开关或者气缸控制doe进行调整的，能够实现小范围调节切换doe光学元件，但是空间利用率低，可调整的范围小，定位精度低，依然不能满本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旋转DOE装置，用于晶圆加工隐切设备，其特征在于，所述旋转DOE装置包括：一DOE安装盘、若干镜片安装组件、若干镜片、一弹簧挡板、若干压缩弹簧、若干调节组件和一伺服电机；

2.根据权利要求1所述的旋转DOE装置，其特征在于，所述DOE安装盘为圆盘形，其上均匀开设有若干凹槽位，所述镜片安装组件嵌设在对应的所述凹槽位内，所述镜片安装组件能够在凹槽中相对滑动。

3.根据权利要求1所述的旋转DOE装置，其特征在于，所述镜片安装组件的顶面与所述弹簧挡板的顶面位于同一平面。

4.根据权利要求1所述的旋转DOE装置，其特征在于，所述镜片安装组件包括镜片安装架...

【技术特征摘要】

1.一种旋转doe装置，用于晶圆加工隐切设备，其特征在于，所述旋转doe装置包括：一doe安装盘、若干镜片安装组件、若干镜片、一弹簧挡板、若干压缩弹簧、若干调节组件和一伺服电机；

2.根据权利要求1所述的旋转doe装置，其特征在于，所述doe安装盘为圆盘形，其上均匀开设有若干凹槽位，所述镜片安装组件嵌设在对应的所述凹槽位内，所述镜片安装组件能够在凹槽中相对滑动。

3.根据权利要求1所述的旋转doe装置，其特征在于，所述镜片安装组件的顶面与所述弹簧挡板的顶面位于同一平面。

4.根据权利要求1所述的旋转doe装置，其特征在于，所述镜片安装组件包括镜片安装架、镜片安装槽、螺纹环件和橡胶环垫；

5.根据权利要求1所述的旋转doe装置，其特征在于，所述调节组件包括调节板和调节顶丝；...

【专利技术属性】
技术研发人员：马林，丁圣磊，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：