【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及背板光波导互连，特别是涉及一种基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统。
技术介绍
1、近年来，光学印刷电路板(opcb)的光波导互连技术因具有高传输速率、抗电磁干扰、高密度集成能力、低功耗等独特优势而受到广泛关注。
2、目前，光波导材料可以满足技术应用的需求，然而，由于光波导光刻制备工艺的限制，其芯层侧壁粗糙度较大，这不仅导致导模之间的耦合，还导致导模与辐射模之间的耦合，因而造成较大的传输损耗，进一步限制了光波导器件的广泛应用。因此，确定芯层侧壁粗糙度值至关重要，该值指导光波导的结构优化设计。粗糙度通常通过采用如原子力显微镜(afm)和3d光学轮廓仪进行测量得到，然而，其测量长度被限制在几十微米或几微米的数量级，不足以揭示芯层侧壁粗糙度全貌情况；如果在光波导芯层侧面进行全貌测量，将耗时巨大。而且，由于波导芯层侧壁的特殊位置，其测量难度也会增大。此外，由于测量是在光波导芯层制备之后进行，容易被空气中的灰尘污染，从而将引起较大的散射损耗。
技术实现思路
1、本专利...
【技术保护点】
1.一种基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述测量系统包括长周期少模光纤光栅、光功率计和处理器；
2.根据权利要求1所述的基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述长周期少模光纤光栅包括第一长周期少模光纤光栅和第二长周期少模光纤光栅。
3.根据权利要求2所述的基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述第一长周期少模光纤光栅和所述第二长周期少模光纤光栅的光纤结构相同。
4.根据权利要求3所述的基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述第一长周期少模光纤光栅和所...
【技术特征摘要】
1.一种基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述测量系统包括长周期少模光纤光栅、光功率计和处理器；
2.根据权利要求1所述的基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述长周期少模光纤光栅包括第一长周期少模光纤光栅和第二长周期少模光纤光栅。
3.根据权利要求2所述的基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述第一长周期少模光纤光栅和所述第二长周期少模光纤光栅的光纤结构相同。
4.根据权利要求3所述的基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，其特征在于，所述第一长周期少模光纤光栅和所述第二长周期少模光纤光栅的光栅周期不同。
5.根据权利要求4所述的基于模式激发的光波导...
【专利技术属性】
技术研发人员：王廷云，邓传鲁，黄怿，张小贝，张琦，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：
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