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本发明公开一种基于模式激发的光波导芯层侧壁粗糙度测量系统，涉及背板光波导互连技术领域。该系统包括：待测光波导设置在长周期少模光纤光栅和光功率计之间；待测光波导的中心线与长周期少模光纤光栅的中心线重合；激光通过长周期少模光纤光栅后入射至待测光...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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