【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及合金表面处理，特别涉及一种利用高功率脉冲磁控溅射dlc膜层提高60niti合金耐磨性的方法。
技术介绍
1、轴承是机械装备中的重要零部件，其主要功能是传递载荷、支撑机械回转体、保证回转精度、降低机械零部件间的摩擦系数，在航空航天、能源交通、仪器机械领域有重要应用。目前常用的轴承材料是第二代轴承钢m50钢，其硬度高、摩擦学性能好，不过由于其耐腐蚀性能差并且有较强磁性，限制了其在航空航天领域的应用。
2、60niti(ni质量分数为60％)合金因其高硬度、低弹性模量、无磁性、低密度、良好的耐磨性、耐腐蚀型的特点，合金中包含母相tini与纳米尺度的增强相ni4ti3和ni3ti，其中增强相的存在是60niti合金具有高硬度和良好耐磨性的原因，因此60niti合金被用作新型航空航天轴承。对于航空航天轴承材料来说，理想情况是其表面具备高硬度和低摩擦系数，芯部有一定的韧性，使轴承在工作状态时能够缓解应力，提高使用寿命，在飞行器或航天器使用中能够满足服役时间，避免二次更换，节省人力物力。因此对轴承的表面处理尤为重要。
...【技术保护点】
1.一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一高功率脉冲磁控溅射前，还包括对所述60NiTi基材进行预处理，所述预处理包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一高功率脉冲磁控溅射在氩气环境下进行。
4.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述第一高功率脉冲磁控溅射的参数包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述Ti过渡层的厚度为0.2～0.5μm。
6.根据权利要求1所述的方...
【技术特征摘要】
1.一种利用高功率脉冲磁控溅射dlc膜层提高60niti合金耐磨性的方法，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一高功率脉冲磁控溅射前，还包括对所述60niti基材进行预处理，所述预处理包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一高功率脉冲磁控溅射在氩气环境下进行。
4.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述第一高功率脉冲磁控溅射的参数包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述ti过渡层的厚度为0.2～0.5μm。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二高功率脉冲磁控溅射时，氩气流量为90～100ccm，乙烯...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑仪萍，胡超越，衣晓洋，孙思博，高智勇，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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