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一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法技术
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文档序号:42028117
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本发明提供了一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法,属于合金表面处理技术领域。本发明以Ti为靶材,通过第一高功率脉冲磁控溅射,获得Ti过渡层。本发明采用乙烯、高纯氩气的混合气体作为第二高功率脉冲磁控溅射的气体,...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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