【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微镜检测，尤其涉及一种基于电容检测实现角度反馈的微镜。
技术介绍
1、微镜是一类可以有效实现光路调控的微纳芯片，广泛应用于投影、成像、激光导航等领域。目前应用的微镜中有通过叉指结构进行电容检测，达到偏转角度反馈的目的，传统梳齿结构的微镜，是利用结构层制作梳齿。但结构层通常厚度较小，梳齿可检测的范围较小，当微镜发生较大角度偏转后，固定梳齿与可动梳齿之间的重叠面积大幅减小，电容差变化量急剧减小，因此无法检测大角度偏转。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种基于电容检测实现角度反馈的微镜，当微镜发生较大角度的偏转时，依然可以检测到微镜的偏转角度，实现该状态下的微镜偏转角度的反馈。
2、为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：
3、本技术提供一种基于电容检测实现角度反馈的微镜，包括反射镜和支撑结构，所述支撑结构设置于所述反射镜的外周，用于支撑所述反射镜，所述微镜还包括：
4、第一电容检测结构，...
【技术保护点】
1.一种基于电容检测实现角度反馈的微镜，包括反射镜和支撑结构，所述支撑结构设置于所述反射镜的外周，用于支撑所述反射镜，其特征在于，所述微镜还包括：
2.根据权利要求1所述的基于电容检测实现角度反馈的微镜，其特征在于，所述第三梳齿结构与所述第一梳齿结构之间也呈叉指结构设置，且所述第三梳齿结构与所述第一梳齿结构组成第二电容检测结构。
3.根据权利要求1所述的基于电容检测实现角度反馈的微镜，其特征在于，所述反射镜和所述支撑结构之间形成了环形沟槽，用于容纳所述第一电容检测结构。
4.根据权利要求1所述的基于电容检测实现角度反馈的微镜，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种基于电容检测实现角度反馈的微镜，包括反射镜和支撑结构，所述支撑结构设置于所述反射镜的外周，用于支撑所述反射镜，其特征在于，所述微镜还包括：
2.根据权利要求1所述的基于电容检测实现角度反馈的微镜，其特征在于，所述第三梳齿结构与所述第一梳齿结构之间也呈叉指结构设置，且所述第三梳齿结构与所述第一梳齿结构组成第二电容检测结构。
3.根据权利要求1所述的基于电容检测实现角度反馈的微镜，其特征在于，所述反射...
【专利技术属性】
技术研发人员：王健南，汪海峰，
申请(专利权)人：合肥领航微系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：
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