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本技术提供一种基于电容检测实现角度反馈的微镜，包括反射镜和支撑结构，所述支撑结构设置于所述反射镜的外周，用于支撑所述反射镜，所述微镜还包括：第一电容检测结构，设置于所述反射镜与所述支撑结构之间；以及基底层，设置于所述支撑结构上且位于远离所述...
该专利属于合肥领航微系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥领航微系统集成有限公司授权不得商用。

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