【技术实现步骤摘要】
本技术涉及用于半导体零件的表面涂层装置，具体为一种用于半导体零件的表面涂层装置。
技术介绍
1、在半导体技术产业中，常用之半导体制程如化学气相沉积(cvd)、物理气相沉积(pvd)、反应离子蚀刻(rie,reactiveionetching)、面板及自动化设备运用等等，均采用陶瓷层来保护腔体内之金属部件。由于电浆蚀刻是将电磁能量运用在含有化学反应成分的气体(如氟或氯)中进行，电浆会释放带电的离子并撞击晶圆以蚀刻材料，并产生化学反应，多数进行喷涂形成涂层达到保护半导体零件的效果。
2、在中国技术专利申请公开说明书cn 218013488 u中公开的一种用于半导体零件的表面涂层装置，虽然通过外置控制器启动电机三，电机三启动后转动并且带动双向丝杆二转动，从而使夹板沿着双向丝杆二移动，从而将半导体零件进行夹持定位处理，但是该设备将半导体零件正反面喷涂，过于繁琐，且效率慢，并且喷涂作业中，高度分散的漆雾和挥发出来的溶剂变成细小颗粒物，很容易被吸进人体肺部危害身体健康。
技术实现思路
1、...
【技术保护点】
1.一种用于半导体零件的表面涂层装置，包括底柱(26)、喷涂箱(5)和底板(6)，其特征在于：所述底板(6)的顶部固定连接有料箱(3)，所述料箱(3)的内壁固定连接有A供料管(4)，所述A供料管(4)的一端固定连接有液泵(10)，所述液泵(10)的一端固定连接有B供料管(9)，所述B供料管(9)的一端固定连接有喷头(17)，所述喷头(17)外侧固定连接有喷涂箱(5)；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述喷涂箱(5)的一侧固定连接有铰链(8)，所述铰链(8)的外侧固定连接有密封盖(2)，所述密封盖(2)的顶部固定连接有
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体零件的表面涂层装置，包括底柱(26)、喷涂箱(5)和底板(6)，其特征在于：所述底板(6)的顶部固定连接有料箱(3)，所述料箱(3)的内壁固定连接有a供料管(4)，所述a供料管(4)的一端固定连接有液泵(10)，所述液泵(10)的一端固定连接有b供料管(9)，所述b供料管(9)的一端固定连接有喷头(17)，所述喷头(17)外侧固定连接有喷涂箱(5)；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述喷涂箱(5)的一侧固定连接有铰链(8)，所述铰链(8)的外侧固定连接有密封盖(2)，所述密封盖(2)的顶部固定连接有把手(7)。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述底柱(26)的顶部开设限制槽(27)，所述限制...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆灵伶，
申请(专利权)人：上海泛思迈半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。