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本技术公开了一种用于半导体零件的表面涂层装置,涉及用于半导体零件的表面涂层装置技术领域,包括底柱、喷涂箱,所述底板的顶部固定连接有料箱,所述料箱的内壁固定连接有A供料管,通过夹紧块、放置板、限制块、A轴、动力电机、夹紧电机、螺纹杆、移动块、...该专利属于上海泛思迈半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海泛思迈半导体科技有限公司授权不得商用。
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