一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统技术方案

一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统，由激光源、五面偏振分光棱镜、四分之一波片ｂ、四分之一波片ｃ、角隅棱镜、参考镜、测量镜、起偏器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在五面偏振分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，分别被参考镜和测量镜反射两次，由五面偏振分光棱镜出射；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的测量镜的线位移。本发明专利技术的优点是：结构简单、成本较低、光程死区小、测量精度高，可广泛用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光精密测量技术，特别是一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统。(二)
技术介绍
差分平面反射镜干涉仪是80年代中期研制的一种新型激光干涉仪，其主要特点是光学分辨率高且能使光程死区达到最小，具有较高的稳定性和测量精度，可完成各项参数的标准测量，如线性位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平行度等，所以适应于各种几何量精密计量的测量和基准的建立，包括军工、航天等精密基准计量，可以用来校准各种数控机床和三坐标测量机，并且可以用以控制光栅刻划工作台、高性能精密数控机床的定位及其它定位装置，例如纳米测量定位工作台和扫描探针显微镜等。传统的差分平面反射镜干涉仪的缺点是结构比较复杂，由于辅助光学元件较多，因此使得测量光束须经过多次反射，光束能量的减弱和偏振态的泄漏使得测量信号#噪比低，同时也影响了测量的精度。(三)
技术实现思路
本专利技术的目的是针对上述存在问题，提供一种结构简单、测量精度高、成本低且便于生产的用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统。本专利技术的技术方案一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统，其特征在于由激光源、五面偏振分光棱镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统，其特征在于：由激光源、五面偏振分光棱镜、四分之一波片ｂ、四分之一波片ｃ、角隅棱镜、参考镜、测量镜、起偏器、光电检测器和相位计构成；所述激光源一方面对五面偏振分光棱镜产生稳定频率的入射光束，该光束含有两个频率不同且线偏振方向互相正交的分量，同时也对相位计给出一个稳定的正弦电参考信号，该参考信号的频率等于激光源两个分量的频率差；五面偏振分光棱镜由两块直角棱镜粘合而成，在胶合面镀有一层偏振分光膜，光的入射面和出射面镀有增透膜，胶合面等效于偏振分光镜故称为偏振分光面，与偏振分光面对称的棱镜面ａ和棱镜面ｂ镀有抗反射膜，其作用是通过偏振分光面把偏振方向相互...

【技术特征摘要】
1.一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统，其特征在于由激光源、五面偏振分光棱镜、四分之一波片b、四分之一波片c、角隅棱镜、参考镜、测量镜、起偏器、光电检测器和相位计构成；所述激光源一方面对五面偏振分光棱镜产生稳定频率的入射光束，该光束含有两个频率不同且线偏振方向互相正交的分量，同时也对相位计给出一个稳定的正弦电参考信号，该参考信号的频率等于激光源两个分量的频率差；五面偏振分光棱镜由两块直角棱镜粘合而成，在胶合面镀有一层偏振分光膜，光的入射面和出射面镀有增透膜，胶合面等效于偏振分光镜故称为偏振分光面，与偏振分光面对称的棱镜面a和棱镜面b镀有抗反射膜，其作用是通过偏振分光面把偏振方向相互正交的从棱镜面a入射的两束光束分开并经棱镜面a和棱镜面b的反射后从棱镜面c出射，最后又将反射回棱镜面c的光束通过偏振分光面合成一道从棱镜面a出射；四分之一波片b和四分之一波片c分别位于棱镜面b和棱镜面c的两侧且与其平行，其作用是将通过四分之一波片的光束转化成圆偏振光束或者将通过四分之一波片的圆偏振光转化成线偏振光；角隅棱镜设置在四分之一波片b的后面且其轴线与棱镜面b垂直，角隅棱镜将从棱镜面b出射并经四分之一波片b后入射的光束反射回去，而且入射光束与反射光束相...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯文玫，徐封义，
申请(专利权)人：天津市天坤光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：12[]