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一种用于测量直线位移的差分平面反射镜激光干涉系统，由激光源、五面偏振分光棱镜、四分之一波片ｂ、四分之一波片ｃ、角隅棱镜、参考镜、测量镜、起偏器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在五...
该专利属于天津市天坤光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市天坤光电技术有限公司授权不得商用。

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