【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显微镜，具体涉及一种基于双后组技术的半导体显微镜。
技术介绍
1、随着半导体行业的不断发展，器件的小型化与集成化特点日益显著，因此在视觉检测过程中为实现高分辨率，不可避免的需要使用高倍率的显微镜头或显微物镜，伴随而来的问题是镜头的小景深；然而我们的半导体器件类似于微观的三维世界，存在多个面，且面与面之间存在一定的高度差，一次成像往往无法实现整个样品z向的全局观测。因此，在视觉检测领域急需一种技术，可以通过一次成像，实现不同台面的景深采集，进而成倍的提高检测效率。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种基于双后组技术的半导体显微镜，其通过叠加光束实现景深的叠加，解决高倍率成像过程中景深不足的问题，有利于提升半导体器件缺陷检测的效率，降低检测错误率。
2、为解决上述问题，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种基于双后组技术的半导体显微镜，包括物镜、差分干涉对比模块、第一镜筒、第二镜筒、第三镜筒、第一偏振镜、第二偏振镜、滤光片、目镜、照明镜组和发光二极管。
4、所述物镜、差分干涉对比模块、第一镜筒、第三镜筒、第二偏振镜、滤光片和目镜沿光轴方向侧依次设置。
5、第一偏振镜、第二镜筒、照明镜组和发光二极管配置为沿光轴方向侧依次设置。
6、所述第一镜筒用于接收从所述第二镜筒射出的光源，并将光源往所述差分干涉对比模块方向折射。
7、所述差分干涉对比模块用于将从样品反射的光源与所述第二镜筒射出的光
8、所述第一镜筒还用于将从所述差分干涉对比模块进入的光源输送至所述第三镜筒。
9、本公开至少一实施例提供的基于双后组技术的半导体显微镜中，所述差分干涉对比模块配置为与第一镜筒相接。
10、所述滤光片位于第二偏振镜上方。
11、所述照明镜组配置在所述第二镜筒顶部。
12、所述第二偏振镜位于所述第三镜筒顶部。
13、所述第三镜筒和第二镜筒均与所述第一镜筒连接。
14、本公开至少一实施例提供的基于双后组技术的半导体显微镜中，所述差分干涉对比模块位于所述物镜上方。
15、本公开至少一实施例提供的基于双后组技术的半导体显微镜中，所述第一镜筒内具有第一折射棱镜，所述第一折射棱镜与所述第一镜筒的中轴线的夹角为45°，以使光源能以90°角被折射。
16、所述第二镜筒内具有第二折射棱镜，所述第二折射棱镜与所述第二镜筒的中轴线的夹角为45°，以使光源能以90°角被折射。
17、本公开至少一实施例提供的基于双后组技术的半导体显微镜中，所述第一镜筒具有两个光源通路。
18、本公开至少一实施例提供的基于双后组技术的半导体显微镜中，所述照明镜组和第一镜筒均与所述第二镜筒垂直，且所述照明镜组、第一镜筒和第二镜筒均位于同一个平面上。
19、本专利技术的有益效果为：相较于传统成像中一组镜头与一个图像采集端的配置，本专利技术再通过两个设置在不同后焦面的图像采集端，实现景深的叠加，进而有效解决高倍率成像过程中景深不足的技术难题。
20、结构紧凑，减少了工位数，有效压缩设备的体积一次对焦，一次成像，实现不同台面的图像采集，有效节省机构运行时间，提高设备产率。分光的方式，能够节省物镜及光源，降低了设备成本。
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1.一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，包括：物镜、差分干涉对比模块、第一镜筒、第二镜筒、第三镜筒、第一偏振镜、第二偏振镜、滤光片、目镜、照明镜组和发光二极管；
2.根据权利要求1所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述差分干涉对比模块配置为与第一镜筒相接；
3.根据权利要求2所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述差分干涉对比模块位于所述物镜上方。
4.根据权利要求1所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述第一镜筒内具有第一折射棱镜，所述第一折射棱镜与所述第一镜筒的中轴线的夹角为45°，以使光源能以90°角被折射；
5.根据权利要求1所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述第一镜筒具有两个光源通路。
6.根据权利要求2所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述照明镜组和第一镜筒均与所述第二镜筒垂直，且所述照明镜组、第一镜筒和第二镜筒均位于同一个平面上。
【技术特征摘要】
1.一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，包括：物镜、差分干涉对比模块、第一镜筒、第二镜筒、第三镜筒、第一偏振镜、第二偏振镜、滤光片、目镜、照明镜组和发光二极管；
2.根据权利要求1所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述差分干涉对比模块配置为与第一镜筒相接；
3.根据权利要求2所述的一种基于双后组技术的半导体显微镜，其特征在于，所述差分干涉对比模块位于所述物镜上方。
4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张庆祥，陈英滔，谭辉，郑晓泽，潘冠健，李依琳，陈澳慧斯，
申请(专利权)人：广东三姆森科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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