【技术实现步骤摘要】
本技术属于尾气处理领域，尤其是涉及尾气处理装置。
技术介绍
1、随着电子行业的迅速发展，电子元件的生产过程中需要大量的特气，电子行业中生产特气的过程中会产生大量废气。废气中主要包括氟碳类气体，如一氟甲烷。
2、这些尾气如果不经过处理就排到环境中，将会危害生态环境，现有技术中尾气处理效果差、且成本高。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术旨在提出尾气处理装置，以解决尾气处效果差、且成本高的问题。
2、为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
3、尾气处理装置，包括喷淋装置、活性炭吸附装置，喷淋装置的底部设有进气管道，喷淋装置的顶部通过连接管道与活性炭吸附装置连接，活性炭吸附装置的一侧设有出气管道；
4、喷淋装置包括喷淋罐、储液罐，储液罐通过喷淋管道设置在喷淋罐的一侧，喷淋管道设置在喷淋罐内部的一侧设有若干个喷淋支管，喷淋支管上设有若干个均匀分布的出液组件；
5、喷淋罐的底部通过回流管道与储液罐连接。
6、储液罐内有水...
【技术保护点】
1.尾气处理装置，其特征在于：包括喷淋装置、活性炭吸附装置，喷淋装置的底部设有进气管道(6)，喷淋装置的顶部通过连接管道(24)与活性炭吸附装置连接，活性炭吸附装置的一侧设有出气管道(25)；
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述回流管道(5)上设有回流水泵(10)，回流管道(5)设置在过滤网(9)的下方。
3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述出液组件包括出液连接管(11)、出液板(12)，出液连接管(11)与喷淋支管(4)连接，出液板(12)上设有若干个均匀分布的出液孔(13)。
4.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.尾气处理装置，其特征在于：包括喷淋装置、活性炭吸附装置，喷淋装置的底部设有进气管道(6)，喷淋装置的顶部通过连接管道(24)与活性炭吸附装置连接，活性炭吸附装置的一侧设有出气管道(25)；
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述回流管道(5)上设有回流水泵(10)，回流管道(5)设置在过滤网(9)的下方。
3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述出液组件包括出液连...
【专利技术属性】
技术研发人员：张法文，刘海员，刘向涛，
申请(专利权)人：天津绿菱气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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