【技术实现步骤摘要】
本技术属于成品储罐领域,尤其是涉及一种增加缓冲装置的成品储罐。
技术介绍
1、溴化氢用于制造各种溴化合物,也可用于医药、染料、香料等工业,是制造各种无机溴化物如溴化钠、溴化钾、溴化锂和溴化钙等和某些烷基溴化物如溴甲烷、溴乙烷等的基本原料。医药上用以合成镇静剂和麻醉剂等。也是一些金属矿物的良好溶剂,用于高纯金属的提炼。以溴化氢作为刻蚀气体的等离子刻蚀技术可通过控制被刻蚀物质的温度达到精确的刻蚀精度。因此高纯高纯溴化氢多用于半导体掺磷的n型多晶硅、掺磷的单晶硅或者二维半导体的刻蚀,是芯片先进制程的核心气体之一。
2、溴化氢气体应储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源,库温不宜超过30摄氏度。多个成品储罐相互连接,运输不便。
3、成品储罐一次合格率基本比较低,质量不合格处理时间长,对产品质量和效率都受到很大影响。
技术实现思路
1、有鉴于此,本技术旨在提出一种增加缓冲装置的成品储罐,以解决成品储罐一次合格率低,成品储罐受外界温度影响导致溴化氢气体分解,且运输不便的问题。
2、为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:
3、一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:包括缓冲罐、成品储罐、支架组件,若干个成品储罐设置在支架组件内部,若干个成品储罐均通过管道与缓冲罐连接;所述支架组件包括若干个可拆卸连接的罐架,所述罐架包括第一罐架、第二罐架,第二罐架套设在第一罐架的外部,第一罐架和第二罐架之间设有保温棉;溴化氢气体不太稳定,遇热、见
4、进一步的,所述成品储罐设置在第一罐架的内部,成品储罐的上方设有进气口,进气口上设有阀门。
5、优选的,溴化氢成品储罐为玻璃钢储罐。
6、进一步的,所述第二罐架的上方铰接有两个盖板,两个盖板对称设置,两个盖板的连接处均设有半圆通孔、凸起、凹槽,两个盖板的凸起和凹槽配合设置,凸起和凹槽设置在半圆通孔的两侧,两个半圆通孔能够使进气口通过,两个盖板远离半圆通孔的一端与第二罐架的侧壁上方铰接。两个盖板通过相互配合的凸起和凹槽插接,使罐架密封,达到保温隔热的作用。
7、进一步的,所述两个盖板内部设有保温棉。
8、进一步的,所述第二罐架的每个侧壁上方均设有若干个连接杆,连接杆的端部设有连接盘,连接盘上设有若干个均匀分布的螺纹孔。
9、进一步的,第二罐架每个侧壁上设置的连接杆的位置均相同,且等距设置,所述连接盘上的螺纹孔相互对应;连接盘通过螺栓可拆卸连接,使成品储罐能够单个移动,便于运输,将罐架拆卸之后,能够握住连接杆推动罐架。
10、优选的,第二罐架每个侧壁上方均设有两个连接杆。
11、进一步的,所述第二罐架的底部四角均设有制动式万向轮。
12、进一步的,所述缓冲罐的顶部设有进气管,缓冲罐的底部设有出气管,出气管上依次设有输送泵和冷却器。经过缓冲罐的气体进入成品储罐之前先进行冷却,使溴化氢气体温度降低,再进入设有保温棉的罐架中,有利于溴化氢气体储存。
13、进一步的,所述成品储罐与出气管通过支路进气管连接,支路进气管上均设有截止阀。
14、进一步的,所述支路进气管远离出气管的一端与进气口连接。
15、相对于现有技术,本技术所述的一种增加缓冲装置的成品储罐具有以下优势:
16、由于溴化氢气体不稳定,需要和外界隔热,第一罐架和第二罐架之间设有保温棉,起到隔热的作用;每个罐架之间可拆卸连接,且罐架底部均设有制动式万向轮,使运输更加方便。成品储罐前增加缓冲装置,使成品一次合格率升高,提高了产品质量和效率。
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1.一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:包括缓冲罐(1)、成品储罐(2)、支架组件,若干个成品储罐(2)设置在支架组件内部,若干个成品储罐(2)均通过管道与缓冲罐(1)连接;所述支架组件包括若干个可拆卸连接的罐架,所述罐架包括第一罐架(3)、第二罐架(4),第二罐架(4)套设在第一罐架(3)的外部,第一罐架(3)和第二罐架(4)之间设有保温棉(5)。
2.根据权利要求1所述的一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:所述成品储罐(2)设置在第一罐架(3)的内部,成品储罐(2)的上方设有进气口(6),进气口(6)上设有阀门(7)。
3.根据权利要求1所述的一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:所述第二罐架(4)的上方铰接有两个盖板(8),两个盖板(8)对称设置,两个盖板(8)的连接处均设有半圆通孔(9)、凸起(10)、凹槽(11),两个盖板(8)的凸起(10)和凹槽(11)配合设置,凸起(10)和凹槽(11)设置在半圆通孔(9)的两侧,两个半圆通孔(9)能够使进气口(6)通过,两个盖板(8)远离半圆通孔(9)的一端与第二罐架(4)的侧壁上方铰接。
...【技术特征摘要】
1.一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:包括缓冲罐(1)、成品储罐(2)、支架组件,若干个成品储罐(2)设置在支架组件内部,若干个成品储罐(2)均通过管道与缓冲罐(1)连接;所述支架组件包括若干个可拆卸连接的罐架,所述罐架包括第一罐架(3)、第二罐架(4),第二罐架(4)套设在第一罐架(3)的外部,第一罐架(3)和第二罐架(4)之间设有保温棉(5)。
2.根据权利要求1所述的一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:所述成品储罐(2)设置在第一罐架(3)的内部,成品储罐(2)的上方设有进气口(6),进气口(6)上设有阀门(7)。
3.根据权利要求1所述的一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:所述第二罐架(4)的上方铰接有两个盖板(8),两个盖板(8)对称设置,两个盖板(8)的连接处均设有半圆通孔(9)、凸起(10)、凹槽(11),两个盖板(8)的凸起(10)和凹槽(11)配合设置,凸起(10)和凹槽(11)设置在半圆通孔(9)的两侧,两个半圆通孔(9)能够使进气口(6)通过,两个盖板(8)远离半圆通孔(9)的一端与第二罐架(4)的侧壁上方铰接。
4.根据权利要求3所述的一种增加缓冲装置的成品储罐,其特征在于:所述两个盖板(8)内部设有保温棉...
【专利技术属性】
技术研发人员:王新鹏,程炎锋,张杰,董爱华,王维佳,
申请(专利权)人:天津绿菱气体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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