【技术实现步骤摘要】
本技术属于尾气处理，尤其是涉及一种四氟化硅尾气排空装置。
技术介绍
1、四氟化硅又名氟化硅，分子式为sif4，是一种无色、有毒、有刺激性臭味的气体。易潮解，在潮湿的空气中可产生浓烟雾，人体吸入后可以引起头痛、恶心及不同程度的麻醉作用，对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害并且腐蚀作用强。因此需要对其进行吸收洗涤，以免污染环境；对四氟化硅气体进行吸收洗涤后还能回收氟硅资源。
2、水吸收净化法比较经济，水价廉易得，且脱氟率较高，但是四氟化硅气体容易在设备和气相管道内产生二氧化硅沉淀，造成气相管道和设备堵塞，影响装置长周期稳定运行。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术旨在提出一种四氟化硅尾气排空装置，以解决处理四氟化硅尾气时产生的二氧化硅沉淀堵塞设备和管道的问题。
2、为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
3、一种四氟化硅尾气排空装置，包括预处理组件、水洗组件和冷水循环组件，预处理组件和水洗组件设置在冷水循环组件两侧，预处理组件和水洗组件通过排气管连通；所述预处理组件包括预处理箱体、进气管、第一排液管、第一杂质过滤盒，进气管设置在预处理箱体的顶部，第一杂质过滤盒设置在预处理箱体内部，第一排液管设置在预处理箱体远离水洗组件一侧的底部，第一排液管上设有第一止液阀，预处理箱体的前侧设有第一箱门，第一箱门上设有第一把手；第一排液管用于将四氟化硅气体和水反应生成的氟硅酸溶液进行收集。
4、进一步的，所述第一杂质过滤盒的两端均设有滑块，预处理箱体
5、进一步的，所述排气管的一端设置在预处理箱体的顶部，另一端与水洗组件连接。
6、进一步的，所述水洗组件包括水洗箱体、进水管、喷淋管、喷头、第二杂质收纳盒、第三杂质收纳盒、第四杂质收纳盒、第二排液管、出气管，所述进水管设置在水洗箱体的顶部，喷淋管和第二杂质收纳盒从上到下依次设置在水洗箱体的内壁上，喷淋管通过水管和进水管连通，第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒均设置在喷淋管的顶部，喷淋管的底部均设有若干个均匀分布的喷头，出气管和第二排液管设置在水洗箱体远离预处理箱体一侧的底部，出气管上设有阀门，第二排液管上设有第二止液阀，水洗箱体的前侧设有第二箱门，第二箱门上设有第二把手；第二排液管用于将四氟化硅气体和水反应生成的氟硅酸溶液进行收集。
7、进一步的，所述喷淋管包括第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管，所述第一喷淋管的两端设置在水洗箱体的内壁上，且第一喷淋管的两端通过水管和进水管连通，第一喷淋管位于排气管的上方；第二喷淋管和第三喷淋管交错设置在水洗箱体的内壁上，且第二喷淋管和第三喷淋管设置在排气管的下方；喷淋管通过进水口喷出的水能够对进入水洗箱体中的四氟化硅气体进行水洗，将四氟化硅气体去除，第二喷淋管和第三喷淋管交错设置，是对气体有导流的作用，是四氟化硅气体水洗的更加充分，反应更加完全，从而尾气处理更加彻底。
8、进一步的，所述第二喷淋管靠近排气管的一端设置在水洗箱体的内壁上，第三喷淋管远离排气管的一端设置在水洗箱体的内壁上，且第二喷淋管和第三喷淋管靠近水洗箱体内壁的一端均通过水管和进水管连通，另一端为封闭端。
9、进一步的，所述第二杂质收纳盒的两端均设有滑块，水洗箱体的内壁上设有与滑块对应的滑轨，第二杂质收纳盒为开口矩形盒结构，第二杂质收纳盒的底部为过滤网；过滤网能够过滤掉反应溶液中的沉淀，使沉淀截留在收纳盒中，第二杂质收纳盒能够通过滑轨和滑块的配合进行滑动，来更换收纳盒或者对储存在收纳盒中的沉淀清理。
10、进一步的，所述第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒分别设置在第二喷淋管和第三喷淋管的顶部，第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒靠近水洗箱体内壁的一端均设有滑块，水洗箱体内壁上设有与滑块对应的滑轨，第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒为矩形盒体结构，第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒远离水洗箱体的一侧和顶部均设有沉淀过滤网，喷淋管顶部容易堆积二氧化硅沉淀，因此设置第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒，且第三杂质收纳盒和第四杂质收纳盒易于更换和清理。
11、进一步的，所述冷水循环组件包括冷水循环箱、冷水管和冷水处理箱，冷水循环箱的侧壁分别与预处理箱体和水洗箱体的侧壁连接，冷水处理箱设置在冷水循环箱的顶部，冷水管设置在冷水循环箱的内部，冷水管的进水口和出水口与冷水处理箱连接；通过冷水处理箱生成冷水经过冷水管循环，能够对连接在冷水循环箱两侧的预处理箱体和水洗箱体内部进行降温，不仅能够防止四氟化硅和水反应温度过高逆向反应，而且能够使水气加速液化，使水分子快速滴落到装置底部，减少装置内壁和管道产生沉淀。
12、相对于现有技术，本技术所述的四氟化硅尾气排空装置具有以下优势：
13、管道和水洗组件中产生的水蒸气与管道中输入的四氟化硅反应，会产生二氧化硅沉淀，使管道堵塞，本装置的预处理组件设有沉淀收纳盒，将产生的沉淀统一处理，得到的氟硅酸溶液也能够收集利用；四氟化硅和水的反应是放热反应，预处理组件和水洗组件之间设置冷水循环组件，对预处理组件和水洗组件进行冷却，使水气加速液化，使水分子快速滴落到装置底部，减少装置内壁和管道产生沉淀。
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1.一种四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：包括预处理组件、水洗组件和冷水循环组件，预处理组件和水洗组件设置在冷水循环组件两侧，预处理组件和水洗组件通过排气管(1)连通；所述预处理组件包括预处理箱体(2)、进气管(3)、第一排液管(4)、第一杂质过滤盒(5)，进气管(3)设置在预处理箱体(2)的顶部，第一杂质过滤盒(5)设置在预处理箱体(2)内部，第一排液管(4)设置在预处理箱体(2)远离水洗组件一侧的底部，第一排液管(4)上设有第一止液阀(6)，预处理箱体(2)的前侧设有第一箱门(7)，第一箱门(7)上设有第一把手(8)。
2.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述第一杂质过滤盒(5)的两端均设有滑块，预处理箱体(2)的内壁上设有与滑块对应的滑轨，第一杂质过滤盒(5)为无盖的矩形盒体，第一杂质过滤盒(5)盒体的底部为过滤网。
3.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述排气管(1)的一端设置在预处理箱体(2)的顶部，另一端与水洗组件连接。
4.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述水洗组
5.根据权利要求4所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述喷淋管包括第一喷淋管(19)、第二喷淋管(20)、第三喷淋管(21)，所述第一喷淋管(19)的两端设置在水洗箱体(9)的内壁上，且第一喷淋管(19)的两端通过水管和进水管(10)连通，第一喷淋管(19)位于排气管(1)的上方；第二喷淋管(20)和第三喷淋管(21)交错设置在水洗箱体(9)的内壁上，且第二喷淋管(20)和第三喷淋管(21)设置在排气管(1)的下方。
6.根据权利要求5所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述第二喷淋管(20)靠近排气管(1)的一端设置在水洗箱体(9)的内壁上，第三喷淋管(21)远离排气管(1)的一端设置在水洗箱体(9)的内壁上，且第二喷淋管(20)和第三喷淋管(21)靠近水洗箱体(9)内壁的一端均通过水管和进水管(10)连通，另一端为封闭端。
7.根据权利要求4所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述第二杂质收纳盒(12)的两端均设有滑块，水洗箱体(9)的内壁上设有与滑块对应的滑轨，第二杂质收纳盒(12)为开口矩形盒结构，第二杂质收纳盒(12)的底部为过滤网。
8.根据权利要求4所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述第三杂质收纳盒(13)和第四杂质收纳盒(14)分别设置在第二喷淋管(20)和第三喷淋管(21)的顶部，第三杂质收纳盒(13)和第四杂质收纳盒(14)靠近水洗箱体(9)内壁的一端均设有滑块，水洗箱体(9)内壁上设有与滑块对应的滑轨，第三杂质收纳盒(13)和第四杂质收纳盒(14)为矩形盒体结构，第三杂质收纳盒(13)和第四杂质收纳盒(14)远离水洗箱体(9)的一侧和顶部均设有沉淀过滤网。
9.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述冷水循环组件包括冷水循环箱(22)、冷水管(23)和冷水处理箱(24)，冷水循环箱(22)的侧壁分别与预处理箱体(2)和水洗箱体(9)的侧壁连接，冷水处理箱(24)设置在冷水循环箱(22)的顶部，冷水管(23)设置在冷水循环箱(22)的内部，冷水管(23)的进水口和出水口与冷水处理箱(24)连接。
...【技术特征摘要】
1.一种四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：包括预处理组件、水洗组件和冷水循环组件，预处理组件和水洗组件设置在冷水循环组件两侧，预处理组件和水洗组件通过排气管(1)连通；所述预处理组件包括预处理箱体(2)、进气管(3)、第一排液管(4)、第一杂质过滤盒(5)，进气管(3)设置在预处理箱体(2)的顶部，第一杂质过滤盒(5)设置在预处理箱体(2)内部，第一排液管(4)设置在预处理箱体(2)远离水洗组件一侧的底部，第一排液管(4)上设有第一止液阀(6)，预处理箱体(2)的前侧设有第一箱门(7)，第一箱门(7)上设有第一把手(8)。
2.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述第一杂质过滤盒(5)的两端均设有滑块，预处理箱体(2)的内壁上设有与滑块对应的滑轨，第一杂质过滤盒(5)为无盖的矩形盒体，第一杂质过滤盒(5)盒体的底部为过滤网。
3.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述排气管(1)的一端设置在预处理箱体(2)的顶部，另一端与水洗组件连接。
4.根据权利要求1所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述水洗组件包括水洗箱体(9)、进水管(10)、喷淋管、喷头(11)、第二杂质收纳盒(12)、第三杂质收纳盒(13)、第四杂质收纳盒(14)、第二排液管(15)、出气管(25)，所述进水管(10)设置在水洗箱体(9)的顶部，喷淋管和第二杂质收纳盒(12)从上到下依次设置在水洗箱体(9)的内壁上，喷淋管通过水管和进水管(10)连通，第三杂质收纳盒(13)和第四杂质收纳盒(14)均设置在喷淋管的顶部，喷淋管的底部均设有若干个均匀分布的喷头(11)，出气管(25)和第二排液管(15)设置在水洗箱体(9)远离预处理箱体(2)一侧的底部，出气管(25)上设有阀门，第二排液管(15)上设有第二止液阀(16)，水洗箱体(9)的前侧设有第二箱门(17)，第二箱门(17)上设有第二把手(18)。
5.根据权利要求4所述的四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：所述喷淋管包括第...
【专利技术属性】
技术研发人员：程炎锋，张杰，李玉虎，李乐，张旭鹏，
申请(专利权)人：天津绿菱气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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