【技术实现步骤摘要】
本公开整体涉及带电粒子束显微镜领域。
技术介绍
1、电子显微镜是使用加速电子束作为照射源的显微镜。由于电子的波长较短(例如，比可见光子短高达100,000倍)，所以电子显微镜具有比传统的基于光的显微镜高的分辨能力。因此，电子显微镜可以揭示小得多的对象的细节。电子显微镜使用成形磁场来形成类似于光学显微镜的玻璃透镜的电子光学透镜系统。
2、通常，电子显微镜用于研究广泛范围的生物和无机标本(包括微生物、细胞、大分子、活检样品、金属和晶体)的结构。电子显微镜的初始形式被称为透射电子显微镜(tem)，该tem使用高压电子束来照射标本并创建图像。随后引入了扫描电子显微镜(sem)。sem通过用聚焦电子束探测标本来成像，该聚焦电子束在标本的区域上扫描(例如，光栅扫描)。
3、学术界和工业界的科学家和工程师不断面临新的挑战，这些挑战需要对广泛范围的样品和材料进行高度局部化表征。不断改进这些材料的质量意味着通常需要纳米级的结构和组成信息。因此，产生了聚焦离子束扫描电子显微术(fib-sem)。在fib-sem中，仪器通过将fib的...
【技术保护点】
1.一种带电粒子束(CPB)系统，包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子束(CPB)系统，其中所述控制器被配置为基于来自所述检测器的所述校准数据来重新校准所述CPB显微镜。
3.根据权利要求1所述的带电粒子束(CPB)系统，其中基于校准之间的时间或使用来周期性地生成所述校准特性。
4.根据权利要求3所述的带电粒子束(CPB)系统，其中所述控制器被配置为通过将所述校准特性与已知校准数据进行比较来确定所述CPB系统的所述对准。
5.根据权利要求1所述的带电粒子束(CPB)系统，其中所述至少一个透镜包括上部电极、中间电极和下
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子束(cpb)系统，包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子束(cpb)系统，其中所述控制器被配置为基于来自所述检测器的所述校准数据来重新校准所述cpb显微镜。
3.根据权利要求1所述的带电粒子束(cpb)系统，其中基于校准之间的时间或使用来周期性地生成所述校准特性。
4.根据权利要求3所述的带电粒子束(cpb)系统，其中所述控制器被配置为通过将所述校准特性与已知校准数据进行比较来确定所述cpb系统的所述对准。
5.根据权利要求1所述的带电粒子束(cpb)系统，其中所述至少一个透镜包括上部电极、中间电极和下部电极。
6.根据权利要求1所述的带电粒子束(cpb)系统，其中所述检测器包括所述cpb显微镜中的现有八极。
7.根据权利要求1所述的带电粒子束(cpm)系统，其中所述检测器包括所述多个电极中的一个电极。
8.根据权利要求1所述的带电粒子束(cpb)系统，还包括能够操作以控制所述cpb的路径的充电板。
9.根据权利要求8所述的带电粒子束(cpb)系统，其中通过使用所述控制器改变所述充电板的操作来调节所述cpb系统的所述对准。
10.根据权利要求8所述的带电粒子束(cpm)系统，还包括耦接到所述带电板的电气继电器，所述电气继电器将所述带电板从用作粒子导向件切...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·斯莫尔卡，L·扎布兰斯基，B·斯特拉卡，M·梅利查尔，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
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