本发明专利技术硬盘零配件的加工方法，包括：在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗；对所述真空腔室进行抽真空，接通负电压，在所述真空腔室内产生辉光发电，通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层；以及对所述硬盘零配件进行清洗。本发明专利技术在硬盘零配件的表面上形成类金刚石碳层，使硬盘零配件的表面硬度增大，防止金属屑掉落，从而延长零配件的使用寿命以及提高硬盘的性能。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硬件驱动领域，尤其涉及一种硬盘零配件的加工方法。
技术介绍
1、硬盘驱动器内部的零配件的性能往往是影响硬盘性能的重要因素，例如音圈马达作为旋转部件带动悬臂件，从而使磁头进行读写操作。音圈马达经常因磨损而产生金属残渣，特别是其轴承部分由于长时间的运作而产生磨损，表面掉落的金属残渣严重影响硬盘的使用寿命。
2、因此，亟待提供一种改进的硬盘零配件的加工方法以克服以上缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种硬盘零配件的加工方法，使硬盘零配件的表面硬度增大，防止金属屑掉落，从而延长零配件的使用寿命以及提高硬盘的性能。
2、为实现上述目的，本专利技术硬盘零配件的加工方法，包括：
3、在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗；
4、对所述真空腔室进行抽真空，接通负电压，在所述真空腔室内产生辉光发电，通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层；以及
5、对所述硬盘零配件进行清洗。
>6、与现有技术相比本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硬盘零配件的加工方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的硬盘零配件的加工方法，其特征在于：在进行所述预清洗之前，向所述真空腔室通入氩气。
3.如权利要求1所述的硬盘零配件的加工方法，其特征在于：所述射频磁控溅射仪的工作频率为15MHz，工作功率为2.5kW。
4.如权利要求1所述的硬盘零配件的加工方法，其特征在于，对所述真空腔室进行抽真空具体包括：首先抽真空至3×10-5Pa，继而通入氩气或甲烷气体使气压达到9.0-10.0Pa，接通负电压为800-1200V，采用石墨靶材进行所述离子溅射。
5.如权利要求1所述的硬盘零配件...
【技术特征摘要】
1.一种硬盘零配件的加工方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的硬盘零配件的加工方法，其特征在于：在进行所述预清洗之前，向所述真空腔室通入氩气。
3.如权利要求1所述的硬盘零配件的加工方法，其特征在于：所述射频磁控溅射仪的工作频率为15mhz，工作功率为2.5kw。
4.如权利要求1所述的硬盘零配件的加工方法，其特征在于，对所述真空腔室进行抽真空具体包括：首先抽真空至3×10-5pa，继而通入氩气或甲烷气体使气压达到9.0-10.0pa，接通...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓振锋，
申请(专利权)人：东莞新科技术研究开发有限公司，
类型：发明
国别省市：
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