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本发明硬盘零配件的加工方法，包括：在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗；对所述真空腔室进行抽真空，接通负电压，在所述真空腔室内产生辉光发电，通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层；以及对所述硬盘零配件进行...
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