【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶棒加工领域,具体为一种单晶圆棒边皮夹取装置。
技术介绍
1、单晶圆棒经开方工序通过金刚线切割后形成方棒,同时会产生四块圆弧边皮料,边皮料需要收集再利用,而在收集过程中需要通过边皮夹取装置将边皮从机床内部夹取到边皮桶中。然而,由于不同尺寸单晶圆棒开方后产生的边皮直径是不相同的,因此,在更换不同尺寸的单晶圆棒后,需要更换对应尺寸的边皮夹取装置。
2、但是,更换边皮夹取装置不仅步骤多,且时间长,并且随着单晶圆棒更换频率增加,严重影响单晶圆棒经开方效率,因此,继续一种能够快速根据单晶圆棒尺寸进行调整的边皮进行夹取的装置。
技术实现思路
1、有鉴于此,本技术实施例提供了一种单晶圆棒边皮夹取装置,以解决现有边皮夹取装置在对单晶圆棒开方时,需要根据单晶圆棒尺寸进行更换所带来的时间长,步骤多,并在单晶圆棒更换频率增加时,严重影响单晶圆棒经开方效率的问题。
2、为实现上述目的,本技术实施例提供如下技术方案:
3、一种单晶圆棒边皮夹取装置,包括:第一夹持组件和第
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,至少包括:第一夹持组件和第二夹持组件;
2.根据权利要求1所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述夹板组件,包括:滑动板和侧板;
3.根据权利要求2所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述侧板为曲面结构。
4.根据权利要求2所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述夹板组件,还包括:防滑板;
5.根据权利要求4所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述防滑板采用尼龙材料制成。
6.根据权利要求4所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述防滑板与边皮接触的
...【技术特征摘要】
1.一种单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,至少包括:第一夹持组件和第二夹持组件;
2.根据权利要求1所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述夹板组件,包括:滑动板和侧板;
3.根据权利要求2所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述侧板为曲面结构。
4.根据权利要求2所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述夹板组件,还包括:防滑板;
5.根据权利要求4所述的单晶圆棒边皮夹取装置,其特征在于,所述防滑板采用尼龙材料制成。
6.根据权利要求4所述的单晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛丙,王小亮,杨俊乐,
申请(专利权)人:双良硅材料包头有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。