一种可无线访问的声表面波结冰传感器制造技术

本发明专利技术提供一种可无线访问的声表面波结冰传感器，对物体表面结冰现象进行灵敏的检测。本发明专利技术的可无线访问的声表面波结冰传感器包括：压电基片、波导层、叉指换能器、反射栅和天线，叉指换能器、反射栅沉积在压电基片上，用于通过压电效应和逆压电效应对声表面波进行发射和接收。波导层依附在压电基片上，位于叉指换能器和反射栅之间、或自叉指换能器和反射栅之间向两侧延伸并覆盖叉指换能器和反射栅。另外，本发明专利技术的声表面波结冰传感器还包括封装层以保护叉指换能器、反射栅、天线以及压电基片。具有上述结构的本发明专利技术的声表面波结冰传感器可以无线访问，体积小，可齐平安装，并且灵敏度高，通过将天线和传感芯片一体化，而可以大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种结冰传感器，尤其涉及一种可无线访问的声表面波结冰传感器。
技术介绍
文献(文献1)对声表面波结冰传感器进行了初步的描述，指出声表面波结冰传感器通过 利用SH型的SAW (Love波)来敏感表面结冰的变化，由于Love波对表面的变化 非常灵敏，因而也常常用于生物化学的微量检测。比如文献报道了通过Love波传感器加上生物敏感膜对微量的生物化学成分 进行检测的实验。而声表面波的其它类型波也对表面的物理影响有非常灵敏的响应， 因而声表面波传感器用于结冰过程的检测也具有非常高的灵敏度。同时，由于声表 面波传感器的工作频率一般在射频段，能直接通过叉指换能器接收和发射射频信号， 这个特点非常适合于无线无源的测量。文献(文 献2)报道了利用无线无源的声表面波传感器对温度、压力等进行测量。声表面波传 感器能无线无源测量的特性对于其在工程领域的应用具有巨大的优势。另外，针对声表面波结冰传感器的应用场合，对于天线的要求有天线的物理 尺寸小；具有全向或半球覆盖的方向性；具有高增益，能提供最大可能的信号给声 表面波传感芯片；阻抗匹配好，无论声表面波传感器在什么方向，天线的极化都能 与询问本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可无线访问的声表面波结冰传感器，其特征在于，包括：压电基片、波导层、叉指换能器、反射栅和天线，所述压电基片、叉指换能器和反射栅组成声表面波延迟线；　所述叉指换能器、反射栅沉积在所述压电基片上，用于通过压电效应和逆压电效应对声表面波进行 发射和接收；　所述波导层依附在所述压电基片上，位于所述叉指换能器和反射栅之间、或自叉指换能器和反射栅之间向两侧延伸并覆盖叉指换能器和反射栅；　所述天线沿所述声表面波延迟线接入所述叉指换能器的外侧，用于无线通信。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李红浪，江城，何世堂，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，中国人民解放军空军工程大学工程学院，
类型：发明
国别省市：11[]