【技术实现步骤摘要】
本技术属于金刚石加工，尤其涉及一种微波化学气相沉积炉的沉积台温度调节装置。
技术介绍
1、化学气相沉积金刚石的方法一般如下：将氢气、含碳的气体(如甲烷)等通过高温活化源后，离解为氢原子、碳原子和各种碳氢基团。当气流遇到温度较低的衬底时，在氢原子的作用下，碳原子沉积为金刚石。目前，按照活化源的不同，利用化学气相沉积制备金刚石的方法主要有三种：微波法、热丝法和直流电弧喷射法。目前，微波等离子体化学气相淀积设备在炉内安装水冷管道，以调节炉内温度。该炉采用微波偶合方式激发工艺气体使之等离子化，产生沉积条件，由于腔内空间形状为固定的微波偶合设计，可变动空间有限，又有对沉积面温度高低调节的需求，因此需要设置一种调节沉积台温度的调节装置。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种微波化学气相沉积炉的沉积台温度调节装置,达到了实现对沉积台的温度调节的效果。
2、有鉴于此，本技术提供一种微波化学气相沉积炉的沉积台温度调节装置，包括：
3、沉积台，所述沉积台设置...
【技术保护点】
1.一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，沉积台(2)包括：
3.根据权利要求2所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，所述抽气管道(5)穿过水冷台(3)与导热面(7)延伸至抽气管道(5)。
4.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，所述水冷台(3)包括：
5.根据权利要求4所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的...
【技术特征摘要】
1.一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，沉积台(2)包括：
3.根据权利要求2所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，所述抽气管道(5)穿过水冷台(3)与导热面(7)延伸至抽气管道(5)。
4.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉(1)的沉积台(2)温度调节装置，其特征在于，所述水冷台(3)包括：
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：何克强，
申请(专利权)人：浙江金砺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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