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本技术属于金刚石加工技术领域，尤其涉及一种微波化学气相沉积炉的沉积台温度调节装置，包括沉积台、水冷台和调节结构。所述沉积台设置在沉积炉内，用于沉积金刚石；所述水冷台设置在沉积台下方，水冷台与沉积台相互接触用于与沉积台之间发生热交换；所述调节...
该专利属于浙江金砺科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江金砺科技有限公司授权不得商用。

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