一种硅环放置架制造技术

本技术涉及一种硅环放置架，包括安装板，所述安装板上设有硅环放置固定机构，所述硅环放置固定机构包括固定安装于安装板上表面且数量为两个的侧板，两个所述侧板相对一侧表面之间固定安装有放置板，所述放置板相背一侧表面均固定安装有固定杆，所述固定杆上表面和下表面均固定安装有数量为两个的固定块。该硅环放置架，通过在安装板上设有侧板，在侧板上设有放置板，在放置板上设有固定杆，在固定杆上设有宽度不大于两毫米的弹片，在弹片上设有凹槽，使用时可以利用弹片将硅环固定在固定杆上，在使用时既可以防止硅环从放置架上掉落还可以减小硅环与弹片的接触面积，便于对硅环进行清洗和固定，使用方便。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及放置架，具体为一种硅环放置架。

技术介绍

1、硅环是集成电路制造过程中的一种辅助材料，主要用在离子注入工序中，用于支撑和固定硅片，在使用硅环前需要将硅环放置在放置架上然后对硅环进行清洗，将硅环表面的污渍去除。

2、中国专利申请号202022007188.6公开了一种硅环放置架，旨在解决硅环放置架存在散架的风险，硅环与放置架接触面积大，硅环洗净不彻底，相邻硅环之间存在碰撞划伤的现象的不足。该技术包括两连接在一起的挡板，两挡板之间形成用于放置硅环的空间，两挡板之间连接底部支撑条和侧边限位条，底部支撑条和侧边限位条上均设有若干用于插装硅环的定位插槽，底部支撑条上的定位插槽和侧边限位条上的定位插槽一一对应设置。这种硅环放置架的结构强度好，不存在散架的风险，硅环与放置架接触面积小，硅环洗净更加彻底，相邻硅环之间不存在碰撞划伤的现象。

3、上述专利针对现有技术中的放置架使用时与硅环接触面积大，导致硅环清洗不够彻底的缺点进行了改进，本实施例则是针对上述专利所提出的问题提供另一种实施方案。

技术实现思路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅环放置架，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)上设有硅环放置固定机构；

2.根据权利要求1所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述放置板(3)的数量为四个，每个所述放置板(3)上的固定杆(4)的数量为十四个。

3.根据权利要求1所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述侧板(2)顶部固定安装有顶板(8)，所述顶板(8)上表面固定安装有把手(9)。

4.根据权利要求1所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述安装板(1)下表面固定安装有配重块(10)。

5.根据权利要求4所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述配重块(10)下表面固定...

【技术特征摘要】

1.一种硅环放置架，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)上设有硅环放置固定机构；

2.根据权利要求1所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述放置板(3)的数量为四个，每个所述放置板(3)上的固定杆(4)的数量为十四个。

3.根据权利要求1所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述侧板(2)顶部固定安装有顶板(8)，所述顶板(8)上表面固定安装有把手(9)。

4.根据权利要求1所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述安装板(1)下表面固定安装有配重块(10)。

5.根据权利要求4所述的一种硅环放置架，其特征在于：所述配重块(10)下表面固定安装有橡胶防滑垫(11)，所述橡胶防滑垫(11)下表面固定安装有数量为多个的橡胶防滑颗粒(12)。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伏全，
申请(专利权)人：无锡纳斯凯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：