一种多腔室火焰水解沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于火焰水解沉积技术领域，具体公开了一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台包括同轴设置的内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区；所述反应腔室内设有反应喷枪；所述反应气体箱能够为所述反应腔室提供反应气体，所述废气处理箱能够处理反应腔室的火焰水解所产生的废气。本发明专利技术可实现不同尺寸的样品同时进行成沉积，兼容性更强。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及火焰水解沉积，具体涉及一种多腔室火焰水解沉积装置。

技术介绍

1、目前硅基二氧化硅平面光波回路技术得到了快速发展，并常用于制造各种光有/无源器件。而火焰水解法制备硅基二氧化硅材料具有沉积速度快、工艺重复性好的优点，是目前制备硅基二氧化硅光波导器件的首选工艺。然而现有火焰水解沉积设备生成效率较低且兼容性较差，不能在同一个设备上实现不同尺寸的样品同时进行沉积，除此之外部分工艺参数调控以经验模式为主，不利于薄膜工艺优化。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种多腔室火焰水解沉积装置，目的在于可实现不同尺寸的样品同时进行成沉积，兼容性更强。

2、本专利技术通过下述技术方案实现：一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台底部设有加热台，所述样品载物台包括同轴设置的内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，其特征在于，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台底部设有加热台，所述样品载物台上同轴设置有内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区；

2.根据权利要求1所述的一种多腔室火焰水解沉积装置，其特征在于，所述样品载物台上设有多个不同直径的火焰度量刻度环，所述火焰度量刻度环用于度量所述反应喷枪喷射出的火焰环直径。

3.根据权利要求1或2所述...

【技术特征摘要】

1.一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，其特征在于，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台底部设有加热台，所述样品载物台上同轴设置有内环载物台和外环载物台，所述内环载物台上沿其周向分布有多个内环样品区，所述外环载物台上沿其周向分布有多个外环样品区；

2.根据权利要求1所述的一种多腔室火焰水解沉积装置，其特征在于，所述样品载物台上设有多个不同直径的火焰度量刻度环，所述火焰度量刻度环用于度量所述反应喷枪喷射出的火焰环直径。

3.根据权利要求1或2所述的一种多腔室火焰水解沉积装置，其特征在于，所述沉积设备本体上设有驱动单元，所述驱动单元能够驱动所述反应喷枪水平移动。

4.根据权利要求1所述的一种多腔室火焰水解沉积装置，其特征在于，所述反应腔室的中间位置连接有隔板，所述隔板位于所述样品载物台的上方，所述隔板将反应腔室分隔成左腔室和右腔室，所述左腔室和右腔室内均设有所述反应喷枪。

5.根据权利要求4所述的一种多腔室火焰水解沉积装置，其特征在于，所述左腔室和右腔室的顶端...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨世武，眭朝萍，谢应涛，田帅，
申请(专利权)人：苏科斯江苏半导体设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：