【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜,具体涉及一种冷却系统及镀膜辊。
技术介绍
1、现有技术中,镀膜的表面处理的方式有电镀、蒸发镀、磁控溅射、离子枪溅射等几种方式,由于膜是有机分子组成,不耐高温,因此选择冷镀的方式就是必然的趋势。上述的镀膜方式中,磁控溅射和离子枪溅射就是冷镀的方式,而且磁控溅射由于可以有限的控制靶材的均匀溅射,因此成为解决复合铜箔的理想选择方式。
2、如申请号为cn202223394629.8的文件公开了一种磁控溅射双面镀膜系统,包括壳本体、镀膜辊结构以及溅射磁极结构,镀膜辊结构可转动安装在壳本体内;镀膜辊结构包括正面镀膜辊和反面镀膜辊,溅射磁极结构安装在壳本体上,任一镀膜辊对应配置有至少两个溅射磁极结构,溅射磁极结构沿对应配置的镀膜辊的中心线弧形分布设置,镀膜辊结构与溅射磁极结构间隔设置,溅射磁极结构的溅射端朝向镀膜辊结构设置。通过在正面镀膜辊和反面镀膜辊周边分别对应设置两个或以上的溅射磁极结构,可使镀膜系统对镀膜基材的任一单面进行连续镀膜。
3、在磁控溅射镀膜过程中,基底温度对柔性热控材料的性能会产生很大的影
...【技术保护点】
1.一种冷却系统,用于辊体(1),所述辊体(1)的轴线上形成有辊轴(2),其特征在于,所述冷却系统包括:
2.根据权利要求1所述的一种冷却系统,其特征在于,所述辊体(1)内间隔设置有内筒体(3),所述内筒体(3)和所述辊体(1)之间形成所述冷却流道(5),所述冷却流道(5)内设置有螺旋隔片将所述冷却流道(5)隔成多个螺旋流道(51)。
3.根据权利要求2所述的一种冷却系统,其特征在于,所述内筒体(3)的内周面上设置有加强筋(7)。
4.根据权利要求2所述的一种冷却系统,其特征在于,所述螺旋流道(51)为4条。
5.根据权
...【技术特征摘要】
1.一种冷却系统,用于辊体(1),所述辊体(1)的轴线上形成有辊轴(2),其特征在于,所述冷却系统包括:
2.根据权利要求1所述的一种冷却系统,其特征在于,所述辊体(1)内间隔设置有内筒体(3),所述内筒体(3)和所述辊体(1)之间形成所述冷却流道(5),所述冷却流道(5)内设置有螺旋隔片将所述冷却流道(5)隔成多个螺旋流道(51)。
3.根据权利要求2所述的一种冷却系统,其特征在于,所述内筒体(3)的内周面上设置有加强筋(7)。
4.根据权利要求2所述的一种冷却系统,其特征在于,所述螺旋流道(51)为4条。
5.根据权利要求1所述的一种冷却系统,其特征在于,所述辊轴(2)的一端形成中空外轴(21),所述中空外轴(21)内插入中空内轴(22),所述中空内轴(22)和所述中空外轴(21)之间存有环形间隙,所述中空内轴(22...
【专利技术属性】
技术研发人员:周立成,周帆,韦先强,张正荣,夏天明,
申请(专利权)人:江苏新瑞磁控技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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