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本发明属于火焰水解沉积技术领域，具体公开了一种多腔室火焰水解沉积装置，包括沉积设备本体、反应气体箱和废气处理单元，所述沉积设备本体内设有反应腔室、样品载物台和驱动样品载物台旋转的动力单元，所述样品载物台位于反应腔室的底部，所述样品载物台包括...
该专利属于苏科斯（江苏）半导体设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏科斯（江苏）半导体设备科技有限公司授权不得商用。

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