【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体加工设备，尤其是一种半导体加工设备部件暂存装置。
技术介绍
1、半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。
2、现有的半导体加工往往不是一次成片，所以在对其加工时需要进行多次不同设备间的转运，从而便于半导体加工时的执行，现有的转运设备在底部一般只加装有万向轮，没有设置便于停止支撑的支架，使得在装货待转运时移动，降低装置的实用性。
3、例如(授权公告号cn208157374u)一种半导体加工设备部件暂存装置，包括底板支架、底板、支撑柱，底板支架上设置有底板，底板支架下设置有固定顶盘，固定顶盘下设置有转向块，转向块下设置有轮架，转向块下设置有刹车装置，刹车装置下设置有滑轮，滑轮上设置有连轴，底板支架上设置有支撑柱，底板上设置有柔性保护层，支撑柱上设置有顶部支架，顶部支架上设置有把手，顶部支架上设置有固定片，支撑柱之间设...
【技术保护点】
1.一种半导体加工设备部件暂存装置，包括用于半导体加工时设备部件转运用的底座(1)和螺钉连接在底座(1)底部的四个万向轮(2)，所述底座(1)的顶部对称分布有两个便于连接的限位槽(10)，两个所述限位槽(10)的中间设有便于移动的竖板(3)，所述竖板(3)的两侧与叠加放置的分隔框(4)的侧壁活动连接，所述分隔框(4)的底部与限位槽(10)的内侧壁活动连接，其特征在于：所述底座(1)的底部通过螺钉与四个用于控制升降的液压杆(15)的固定部连接，所述液压杆(15)的移动部固定连接有便于半导体部件暂存时稳定的支撑板(11)，所述支撑板(11)与底座(1)的底部活动连接。p>
2.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种半导体加工设备部件暂存装置，包括用于半导体加工时设备部件转运用的底座(1)和螺钉连接在底座(1)底部的四个万向轮(2)，所述底座(1)的顶部对称分布有两个便于连接的限位槽(10)，两个所述限位槽(10)的中间设有便于移动的竖板(3)，所述竖板(3)的两侧与叠加放置的分隔框(4)的侧壁活动连接，所述分隔框(4)的底部与限位槽(10)的内侧壁活动连接，其特征在于：所述底座(1)的底部通过螺钉与四个用于控制升降的液压杆(15)的固定部连接，所述液压杆(15)的移动部固定连接有便于半导体部件暂存时稳定的支撑板(11)，所述支撑板(11)与底座(1)的底部活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工设备部件暂存装置，其特征在于：所述限位槽(10)的顶部固定焊接有四根用于连接固定的导向柱(8)，所述导向柱(8)与限位槽(10)的内侧壁不连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体加工设备部件暂存装置，其特征在于：所述导向柱(8)的外...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志华，林兴华，丁东升，吕海波，
申请(专利权)人：松之成精密科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。