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本技术公开了一种半导体加工设备部件暂存装置，属于半导体加工设备技术领域，包括用于半导体加工时设备部件转运用的底座和螺钉连接在底座底部的四个万向轮，底座的顶部对称分布有两个便于连接的限位槽，两个限位槽的中间设有便于移动的竖板，竖板的两侧与叠加...
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