一种等离子显示屏及其障壁的制作方法技术

本发明专利技术提供了一种等离子显示屏及其障壁的制作方法。本发明专利技术的等离子显示屏包括：前基板、后基板、电极、介质层、障壁、以及荧光粉，其中障壁包括位于后基板上的底层障壁和设置在底层障壁上的顶层障壁，其中顶层障壁是由黑色感光性材料通过光刻法形成的。本发明专利技术的等离子显示屏障壁的制作方法包括以下步骤：在形成有寻址电极和介质层的后基板上设置底层障壁；以及通过光刻法在底层障壁上设置由黑色感光性材料制成的顶层障壁。利用本发明专利技术的等离子显示屏障壁的制作方法可以获得高精细度的障壁。

Plasma display screen and method for manufacturing barrier thereof

The invention provides a plasma display screen and a method for making a barrier thereof. The invention of the plasma display panel includes a front substrate, a rear substrate, electrode, dielectric layer, barrier and fluorescent powder, which comprises the bottom barrier barrier located on the substrate and set the top barrier in the bottom of the barrier, the barrier top is made of black photosensitive material through photolithography forming. Manufacturing method of plasma display barrier of the present invention includes the following steps: forming a bottom substrate in the address electrode and the dielectric layer is arranged on the wall; and by photolithography set the top barrier made of black photosensitive material at the bottom of the barrier. By using the manufacturing method of the barrier of the plasma display screen, a barrier with high fineness can be obtained.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于气体放电坤支术领域，具体地，涉及一种等离子显示屏(Plasma Display Panel)及其障壁的制作方法。
技术介绍
等离子显示屏由前、后基板以及制作在后基板上的电极、介质 层、障壁、以及荧光粉等功能器件组成。其中，设置在后基板的白 色介质层与前基板透明介质层之间的障壁既作为两玻璃基板之间 的隔子，又作为防止光串和电串之用，障壁可以是条状，也可以是 格子状。在障壁的表面和白色介质层上分别依次覆盖红、绿、蓝三 基色荧光粉。三基色荧光粉分别为红色R: (Y, Ga)B03: Eu，绿 色G: Zn2Si04: Mn,蓝色B: BaMgAl14023: Eu2+。障壁制作一直 是等离子显示屏制造中的瓶颈，特别是随着等离子显示屏分辨率的 提高，制作高精细化等离子显示屏障壁也愈加困难，这制约了等离 子显示屏向高清化方向发展。等离子显示屏障壁的传统的制作方法主要有丝网印刷法、喷砂 法、以及湿法刻蚀法等。印刷法应用于早期的VGA级别的等离子 显示屏，因为采用印刷法不能形成高精细度的障壁，而且随着印刷 次数的增加，丝网容易产生非弹性形变，使障壁达不到精细度要求。 喷石少法和湿法刻蚀法目前应用4交为广泛。利用喷妙、法形成等离子显 示屏障壁的工艺如下在形成有介质层的玻璃基板上印刷或涂覆障壁浆一+并干燥形成障壁层，用曝光后能纟氏抗喷砂、刻蚀的DFR(dry film resist)膜覆盖障壁层，利用障壁曝光母版对DFR膜进行曝光、 显影后形成能耐^^粒喷蚀的障壁掩膜，然后通过高压气流将^>-粒喷 到障壁层上，障壁层中被DFR膜覆盖的部分被保留下来形成障壁， 其余的障壁材料层被喷掉，最后，将障壁掩膜揭掉(剥膜)并进行 烧结从而形成障壁。由于喷砂法需要反复多次喷砂才能形成所需的 障壁厚度，因此随着障壁厚度的增大，后续过程中喷出的砂粒可能 会破坏已经形成的障壁，因此完全采用喷砂法形成的障壁缺陷较多 且不利于得到高精细度障壁。另外，传统的喷石少法烧结后会在障壁 末端形成突出物，这些突出物影响了前基板与后基板的紧密结合， 从而导致了误;故电和异常噪音。利用湿法刻蚀法形成等离子显示屏 障壁的工艺如下在后基板上印刷或涂覆障壁浆料，干燥烧结后再 涂覆感光胶或DFR膜，干燥后，用掩膜板遮盖，在紫外线下曝光 并形成潜^象，然后用稀减々容液显影，除去没有曝光的部分，最后再 用一定温度和压力的稀酸溶液进行刻蚀，由于所用感光胶或DFR 膜具有耐酸刻蚀性，因此，没有感光月交保护的地方，障壁^皮刻蚀溶 解，而有感光胶保护的障壁未发生刻蚀，从而形成需要的特定形状 的障壁。由于湿法刻蚀法需要反复进行刻蚀才能形成所需的障壁厚 度，因此随着障壁厚度的增大，刻蚀液可能会破坏已经形成的障壁 形貌，因此完全采用湿法刻蚀法形成障壁时才喿控相对困难不利于形 成高质量的障壁形貌。而且喷石少法和湿法刻蚀法存在着材料利用率 低、污染大等方面的缺点，在制作高精细化障壁时，成型困难，良 品率4氐。为此，使用当前流行的材料和工艺制作出优质的高精细化等离 子显示屏障壁成为一个急需解决的难题。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供了一种等离子显示屏及其障壁的制作方 法，通过将障壁分为两次成型，尤其是顶层障壁采用光刻法制作， 制作出高精细度的等离子显示屏障壁。本专利技术目的通过以下4支术方案实现。根据本专利技术的一个方面，提供了一种等离子显示屏，包括前基 板、后基板、电极、介质层、障壁、以及荧光粉，该等离子显示屏 具有两层障壁结构，即障壁包括位于后基纟反上的底层障壁和i殳置在 底层障壁上的顶层障壁，其中顶层障壁是由黑色感光性材料通过光 刻法形成的。在本专利技术中，构成底层障壁的材料可以是适于喷石少法或湿法刻 蚀法的障壁材并+,并且底层障壁相应地采用喷砂-法或湿法刻蚀法形 成。顶层障壁的宽度小于底层障壁的宽度，优选地，顶层障壁的宽度比底层障壁的宽度小10~20 fim。顶层障壁基本上设置在底层障壁的中间部位。顶层障壁的高度在10 30nm的范围内，以及顶层障壁的宽度 在25 ~35 (am的范围内。根据本专利技术的另一个方面，提供了一种等离子显示屏障壁的制 作方法，包括以下步骤在形成有寻址电极和介质层的后基板上设 置底层障壁；以及通过光刻法在底层障壁上设置由黑色感光性材料 制成的顶层障壁。在上述制作方法中，构成底层障壁的材料为喷砂用或湿法刻蚀 用障壁材料，底层障壁相应地采用喷砂、法或湿法刻蚀法完成。底层 障壁的掩膜版与顶层障壁的掩膜版均包含具有相同对应关系的障 壁图形及用于对准的对位标记。优选地，顶层障壁的掩膜版障壁的 图形线条窄于底层障壁的掩膜版障壁的图形线条。本专利技术的等离子显示屏障壁具有由不同材料形成的双层结构， 即，具有由喷石少法或湿法刻蚀法形成的底层障壁和由光刻法形成的 顶层障壁，其与现有等离子显示屏的障壁相比，在形成顶层障壁的 过程中避免了喷砂法中的砂粒和湿法刻蚀中的刻蚀液对已经形成 的底层障壁造成的破坏，另外，顶层障壁在底层障壁成形后制作， 可在一定程度上弥补制作底层障壁时形成的缺陷，因此获得了精细 度相对较高、形貌较好的等离子显示屏障壁，且大大提高了制作的 良品率。通过以下i兌明，本专利技术的其它和另外的目的、特征以及优点将 更充分地,皮呈现。附图说明图1是制作的底层障壁层的示意性剖一见图。图2是制作的底层障壁的示意性剖视图。图3是制作的顶层障壁层的示意性剖视图。图4是成型的等离子显示屏障壁的示意性剖一见图。具体实施例方式除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本专利技术 所属4支术领域的普通^支术人员通常理解的相同含义。本专利技术的主要特点是采用两种方法来构建等离子显示屏的障壁，其中，顶层障壁7通过光刻法形成。由于采用光刻法一次形成 所需厚度的障壁极为困难，而进行多次反复光刻又使工艺过于复 杂，因此，底层障壁5采用成本较低的喷砂法或湿法刻蚀法进行。在本专利技术中，构成底层障壁5的材料为喷砂用障壁材料，该喷 砂用障壁材料包括玻璃粉末、溶剂、树脂、以及无机填充粉末，其 中，例如，3皮璃#分末采用PbO-B203-Si02系、BaO-ZnO-B203-Si02 系、ZnO-Bi203-B203-Si02系等低熔点玻璃粉末，溶剂采用碎品醇、 二乙二醇单丁醚乙酸酯、2， 2， 4-三曱基-1, 3-戊二醇单异丁酸酯 等，树脂采用乙基纤维素、羟乙基纤维素、曱基纤维素等，无机填 充粉末采用石英玻璃、a-石英、氧化铝、氧化钛、氧化锆等，可由 上述成分以不同的组合、配比制作喷砂、用障壁浆料，并且底层障壁 5采用喷砂法形成。可替换地，构成底层障壁5的材料为湿法刻蚀 用障壁材料，该湿法刻蚀用障壁材料包括玻璃粉末、溶剂、树脂、 以及无枳』填充4分末，其中，例如，J皮璃冲分末采用B203-ZnO-BaO系、 B203-ZnO-BaO-Na20系、B203-ZnO-BaO-K20系4氐炫点玻璃4分末， 溶剂采用碎品醇、二乙二醇单丁醚乙酸酯等，树脂通常采用乙基纤 维素，无才几填充4分末通常采用氧化铝、氧化4太等，可由上述成分以 不同的组合、配比制作酸刻 用障壁浆并+,并且底层障壁5采用湿 法刻蚀法形成。在本专利技术中，构成顶层障壁7的材料为黑色感光性材料，其通 常可以包4舌以下成分有机聚合物粘合剂改本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子显示屏，包括前基板、后基板、电极、介质层、障壁、以及荧光粉，其特征在于，所述障壁包括位于所述后基板上的底层障壁和设置在所述底层障壁上的顶层障壁，其中，所述顶层障壁是由黑色感光性材料通过光刻法形成的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕旭东，宋利建，
申请(专利权)人：四川虹欧显示器件有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]