【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体测试，尤其涉及一种晶圆测试环境自检系统及晶圆测试环境自检方法。
技术介绍
1、随着芯片设计与制造行业的迅速进步，对芯片测试精度的要求日益严苛。鉴于在设计阶段无法保证晶圆上每颗芯片的一致性，众多芯片在晶圆测试阶段需进行修调或校准操作，以确保其电压、电流或频率达到标准范围。在进行此类修调或校准芯片的晶圆测试时，首要任务是确保每次量产测试环境与调试验证环境的一致性。若环境发生变动，可能导致基准量产数据失准，进而造成每颗被测芯片修调偏离标准，最终引发芯片批量报废的风险。因此，当前亟待解决的问题是在每次量产测试中如何维持测试环境与验证环境的一致性。目前，业界主要采取两种策略来解决这一问题：一是利用golden wafer进行环境验证，二是定期对测试机设备进行校准。然而，这两种方案均存在一定的局限性。
2、其中，使用golden wafer进行环境验证的方案的缺陷在于：
3、1、由于wafer保存条件要求较高，即使在氮气柜保存，一般也不超过3个月时间，否则可能导致wafer氧化，从而无法正常测试和使用；<...
【技术保护点】
1.一种晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述针卡PCB通过排线或Pogo Pin与所述测试机连接。
3.根据权利要求1所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述切换测试电路包括第一继电器K1、第二继电器K2、第三继电器K3、第四继电器K4、第五继电器K5和第六继电器K6；
4.根据权利要求3所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述第一继电器K1、第二继电器K2、第三继电器K3、第四继电器K4、第五继电器K5和第六继电器K6的型号均为TQ2-5V。>
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述针卡pcb通过排线或pogo pin与所述测试机连接。
3.根据权利要求1所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述切换测试电路包括第一继电器k1、第二继电器k2、第三继电器k3、第四继电器k4、第五继电器k5和第六继电器k6；
4.根据权利要求3所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，所述第一继电器k1、第二继电器k2、第三继电器k3、第四继电器k4、第五继电器k5和第六继电器k6的型号均为tq2-5v。
5.根据权利要求1所述的晶圆测试环境自检系统，其特征在于，在所述测试机的测试程序中，在所述样品测试模块下，所述样品芯片的基准电压卡控值为1.2v±2mv；
<...【专利技术属性】
技术研发人员：杨柳，皇晓莉，谢凯，卢奇，李成威，陈润辉，
申请(专利权)人：上海利扬创芯片测试有限公司，
类型：发明
国别省市：
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