下载一种晶圆测试环境自检系统及晶圆测试环境自检方法的技术资料

文档序号:41722099

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本发明涉及半导体测试技术领域,公开了一种晶圆测试环境自检系统及晶圆测试环境自检方法,通过在针卡PCB上设置样品芯片和切换测试电路,使得测试机可通过切换测试电路在与样品芯片连接和与量产芯片连接之间切换,以切换到样品测试模式或量产测试模式,从而...
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