【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及贵金属旋转靶材的生产制造，具体为一种贵金属旋转靶生产工艺。
技术介绍
1、在半导体、光伏、显示器制造等行业，旋转靶材作为镀膜过程中的关键组件，旋转靶目前的生产工艺主要是铸造圆棒进行机加工或者使用挤压成型机进行挤压成型，但是得料率均不高。铸造圆棒进行机加工会产生大量的废料，在贵金属加工中会有大量的资金积压和浪费无法进行批量生产；使用挤压成型机生产，单次投料量过大无法进行小批量非标生产。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种贵金属旋转靶生产工艺，解决了如何在保证靶材质量的前提下，简化生产工艺、提高材料利用率、降低能耗和人工成本的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种贵金属旋转靶生产工艺，包括以下步骤：
3、步骤一、原料准备：将贵金属原料制作成小圆珠；
4、步骤二、加工准备：将所述小圆珠投入挤压成型模具中，合上挤压成型模具上盖，将挤压成型模具整体放入液压设备中；
5、步骤三、预热处理：对模具进行预热处理；
6、步骤四、挤压成型：通过液压设备对预热后的模具施加压力，进行挤压成型；
7、步骤五、最终处理：对挤压成型后的零件进行机加工，以制得符合图纸要求的贵金属旋转靶。
8、优选的，所述步骤一中制作成的小圆珠的直径约为1mm～3mm。
9、优选的，所述步骤二中的液压设备为液压机，所述液压机施加的压力为300～500吨。
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11、优选的，所述步骤一中的贵金属为金、银、铂与合金中的一种或多种。
12、优选的，所述步骤五中的机加工包括以下步骤：
13、s1、切割：将挤压成型后的贵金属坯料切割至接近最终长度，确保旋转靶的长度和形状符合规定的公差范围内；
14、s2、打磨：使用砂纸，去除切割过程中产生的毛刺和不规则边缘，对靶材表面进行细磨；
15、s3、清洗：使用合适的清洗方式进行彻底清洗旋转靶，去除表面脏污；
16、s4、检验：尺寸检验与超声波探伤，确认尺寸、形状、气孔和表面光洁度以及内部晶粒结构符合要求。
17、优选的，所述s4中的清洗方式为溶剂和超声波清洗机中的一种或两种。
18、优选的，所述步骤三中的预热处理采用均匀受热，以保证模具内部温度一致。
19、优选的，所述挤压成型模具与所需旋转靶内径和外径相匹配的腔体，且模具的长度大于最终产品的长度。
20、本专利技术提供了一种贵金属旋转靶生产工艺。具备以下有益效果：
21、1、本专利技术通过利用液压挤压成型方法可以加快靶材的成型速度，减少了因传统铸造法导致的制造缺陷和后续修整工作量，高精度的成型工艺减少了设备的调整和更换频率，提高了生产线的运行效率。
22、2、本专利技术通过提升的尺寸精度和表面光洁度减少了原材料的浪费，并且提高了材料利用率和降低了生产中的废料，减少了贵金属的整体消耗。
23、3、本专利技术通过液压挤压成型方法提供了更好的重复性和一致性，降低了对操作技术人员的依赖，从而减少了非标小批量贵金属旋转靶的加工难度。
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1.一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤一中制作成的小圆珠的直径约为1mm～3mm。
3.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤二中的液压设备为液压机，所述液压机施加的压力为300～500吨。
4.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤三中预热处理的预热温度为400～600℃，持续时间为10～40分钟。
5.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤一中的贵金属为金、银、铂与合金中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤五中的机加工包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述S4中的清洗方式为溶剂和超声波清洗机中的一种或两种。
8.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤三中的预热处理采用均匀受热，以保证模具内部温度一致。<...
【技术特征摘要】
1.一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤一中制作成的小圆珠的直径约为1mm～3mm。
3.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤二中的液压设备为液压机，所述液压机施加的压力为300～500吨。
4.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤三中预热处理的预热温度为400～600℃，持续时间为10～40分钟。
5.根据权利要求1所述的一种贵金属旋转靶生产工艺，其特征在于，所述步骤一中的贵...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄崧哲，张志聪，曹昆明，
申请(专利权)人：合肥矽格玛应用材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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