一种异质集成滤波器的封装方法、电子设备技术

技术编号:41706072 阅读:25 留言:0更新日期:2024-06-19 12:37
本发明专利技术提供了一种异质集成滤波器的封装方法、电子设备,涉及滤波器技术领域,该异质集成滤波器的封装方法是基于粘结材料采用加热加压的方式实现封装的,相比较晶圆级金属键合工艺而言可极大程度的降低封装成本,并且本申请提供的异质集成滤波器的封装方法还进行了退火处理,可减少内应力,以提高各膜层特别是氮化铝材料的压电层的膜层质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及滤波器,更具体地说,涉及一种异质集成滤波器的封装方法、电子设备


技术介绍

1、在4g及之前,由于频带定义的宽度相对较窄,根据射频系统的需求,选择电磁或者声学滤波器是可以满足性能要求的。但是在进入到5g、6g和wi-fi7阶段之后,频带定义规范发生了重大变化,所有频带全部被定义超过500mhz以上的大带宽,同时频带间距(过渡带)逐步收窄,刚性需要能够同时支持大带宽和高带外抑制的滤波器,原先传统的电磁滤波器和声学滤波器均无法满足要求。这是全球无线通信领域面临的重要技术瓶颈,在下一阶段的无线通信频段设定中,几乎全部存在宽带共存的情况,如n77和n79频段的共存,n79频段与wi-fi 5g频段的共存,wi-fi5g频段与wi-fi 6g频段的共存,wi-fi6g频段与n104频段的共存等等,这些频段均为5g、6g和wi-fi7所使用的核心频段。

2、声学滤波器和ipd基本串联或者并联单元通过在滤波器两端串联或者并联spd电感、电容,能够使滤波器的串联谐振频率或者并联谐振频率发生偏移,利用这种特点,可以通过合理设计ipd元件的值和连接方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述异质集成滤波器的封装方法包括:

2.根据权利要求1所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述在所述基板的边缘区域形成封装凹槽的同时,所述异质集成滤波器的封装方法还包括:

3.根据权利要求2所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述在所述基板的一侧形成声学功能结构之前,所述异质集成滤波器的封装方法还包括:

4.根据权利要求2所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述在所述基板的一侧形成声学功能结构之后,所述异质集成滤波器的封装方法还包括:

5.根据权利要求1所述的异质集成滤波...

【技术特征摘要】

1.一种异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述异质集成滤波器的封装方法包括:

2.根据权利要求1所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述在所述基板的边缘区域形成封装凹槽的同时,所述异质集成滤波器的封装方法还包括:

3.根据权利要求2所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述在所述基板的一侧形成声学功能结构之前,所述异质集成滤波器的封装方法还包括:

4.根据权利要求2所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述在所述基板的一侧形成声学功能结构之后,所述异质集成滤波器的封装方法还包括:

5.根据权利要求1所述的异质集成滤波器的封装方法,其特征在于,所述进行退火处理之后,所述异质集成滤波器的...

【专利技术属性】
技术研发人员:周志虎左成杰何军
申请(专利权)人:安徽安努奇科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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