The invention discloses a full automatic polycrystalline groove type acid treatment equipment, including storage tank and liquid circulation, the treatment tank includes inner groove and the outer groove, wherein the groove is arranged on the lower part of the liquid injection port, circulating port and a liquid discharging port, the top slot formed around the overflow and the side walls of the groove of a certain number of holes, the hole in the continuous discharge liquid and can achieve circulation. The present invention processing equipment from the top to the lower groove groove is formed by the overflow liquid state to form a laminar flow, a rectifying plate is arranged in the inner side of the slot of the basal area of the upper part of the handle groove is larger than the lower basal area in order to reduce fluid stagnation, so as to form a convection mode, can ensure the surface temperature and concentration by treatment the uniform, and improve the precision of the surface after etching.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体
中的制绒设备,具体地说,涉及的是一种全 自动化多晶槽式酸处理设备。
技术介绍
制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀,形成微沟,降低硅片表面的反射率, 促使太阳在石圭片表面进行多级反射,提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备 工艺中,制绒工艺是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分,也是提高太阳 能电池转换效率的重要途径之一 。在多晶制绒工艺中,酸制绒处理设备是很重要的 一部份,现有多晶酸制绒 处理设备是由处理槽(含内、外槽)和循环储存罐(处理液用)所构成。但存在 以下几个问题1:酸制绒处理设备的基板表面的要求是刻蚀中要确保被处理物的表面温度 和浓度要均匀。在处理大量的被处理物时,要确保所有表面整体的温度、浓度达 到均匀性是很难做到的。2:将大量的被处理物一次性放入处理槽中处理时,按现有的方法(槽的构的上下温度差和浓度差也是必然要发生的,为此很难保证被处理物处理完毕后表 面的均一性,并且如何提高刻蚀后的表面精度也是很困难的问题。3:为改善浓度及温度不均匀的问题,如果仅仅将循环流量大幅度的增加, 会带来上部液面极端上升的问题。如此不仅给设备小型化带来了障碍,也存在下 面喷淋过程中达不到完全喷淋等问题(比如传送机械手以及带把手的花篮会使下 面喷淋不到位等)。4:按现有的方法,即使在处理槽下部设置整流板也难实现从下到上的均匀 层流化,还会在槽下部、中部以及基板表面形成乱流或滞流领域。相反在槽内如 果是强制液体乱流排出的构造,从下到上的液流同样也一定会发生滞流现象。这样就会造成滞流部分的温度、浓度不均匀,滞流部分的颗粒也会形成对被处理物 ...
【技术保护点】
一种全自动化多晶槽式酸处理设备,包括处理槽以及处理液循环用的储存罐,其特征在于,所述处理槽包含内槽与外槽,其中内槽下部设有液体的注入口、循环口和排液口,内槽顶面四周形成溢流以及内槽四壁侧面开一定数量的孔,从孔中连续排出药液到外槽并与储存罐相配合达到循环的目的。
【技术特征摘要】
1.一种全自动化多晶槽式酸处理设备,包括处理槽以及处理液循环用的储存罐,其特征在于,所述处理槽包含内槽与外槽,其中内槽下部设有液体的注入口、循环口和排液口,内槽顶面四周形成溢流以及内槽四壁侧面开一定数量的孔,从孔中连续排出药液到外槽并与储存罐相配合达到循环的目的。2. 根据权利要求1所述的全自动化多晶槽式酸处理设备,其特征在于在 所述内槽带孔壁面的外侧设置可控制用的流量调节板。3. 根据权利要求1所述的全自...
【专利技术属性】
技术研发人员:周柏林,袁佩君,大石满,
申请(专利权)人:北京中联科伟达技术股份有限公司,
类型:发明
国别省市:11[]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。