【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体器件，具体涉及压电薄膜材料，更具体的，涉及一种氧化锌薄膜压电传感器及制备方法。
技术介绍
1、氧化锌薄膜压电传感器是一种利用氧化锌（zno）薄膜的压电效应来检测压力变化的传感器，通常包括氧化锌薄膜、电极和支撑基底。当外部施加压力或力量时，氧化锌薄膜发生形变，导致晶格结构的略微变化。这种变化引起了电荷的重新分布，从而在电极上产生电压信号，通过测量该电压信号的变化，可以测量外部施加在传感器上的压力。
2、氧化锌薄膜压电传感器的核心部分是氧化锌薄膜，其能够在施加机械应力或者电场的情况下发生电荷分离，或者在施加电场时发生形变。目前，氧化锌薄膜压电传感器广泛应用于各种领域，包括触摸屏、压力传感、生物医学监测等。由于其灵敏度高、响应迅速、制造成本相对较低等优点，它成为压力测量和传感领域中的重要组成部分。
3、cn102163687a公开了一种高压电响应氧化锌柔性压力传感器及其制备方法，可应用于表面不规则物体的压力测量，该传感器由上电极、氧化锌掺杂层、下电极和柔性基底依次自上而下相叠而成，上电极厚度为50 ...
【技术保护点】
1.一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，包括刚性支撑基底，所述刚性支撑基底提供结构支撑，厚度为100~500μm；
2.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，所述刚性支撑基底为矩形或圆形硅或玻璃。
3.根据权利要求1或2所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，所述第一电极层为铝薄膜或银薄膜。
4.根据权利要求3所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，同样所述第二电极层为铝薄膜或银薄膜。
5.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，第一阈值为10%，第二阈值为15%。
...【技术特征摘要】
1.一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，包括刚性支撑基底，所述刚性支撑基底提供结构支撑，厚度为100~500μm；
2.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，所述刚性支撑基底为矩形或圆形硅或玻璃。
3.根据权利要求1或2所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，所述第一电极层为铝薄膜或银薄膜。
4.根据权利要求3所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，同样所述第二电极层为铝薄膜或银薄膜。
5.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，第一阈值为10%，第二阈值为15%。
6.根据权利要求1所述的一种氧化锌薄膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐惠彬，高明，王方方，张虎，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：
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