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本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种氧化锌薄膜压电传感器，包括刚性支撑基底，刚性支撑基底提供结构支撑，刚性支撑基底上设有第一电极层，第一电极层上设有氧化锌薄膜，氧化锌薄膜包括氧化锌主组分以及掺杂组分；掺杂组分包括P型掺杂源、N型掺杂源...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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