【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池，具体涉及一种锑基薄膜退火方法、锑基薄膜太阳能电池制作方法及锑基薄膜退火装置。
技术介绍
1、基于太阳能电池的发展现状，为了满足国家对新能源的需求，锑基薄膜原材料由于其简单的组成和合适的电学性能，具有稳定性良好、不含稀有及剧毒元素、光电性质优异的特点，在光伏行业中兴起。由于锑基薄膜吸收层是锑基薄膜太阳能电池的关键部件，锑基薄膜的质量对太阳能电池的运行至关重要。
2、因此，如何提高锑基薄膜的质量成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种锑基薄膜退火方法、锑基薄膜太阳能电池制作方法及锑基薄膜退火装置；其可以有效减少锑基薄膜的缺陷引起的复合与氧元素的吸附，降低电池器件的串联电阻，有效提高锑基薄膜的导电性；并且提高锑基薄膜的结晶度，提升锑基薄膜的质量，提升器件效率。
2、为了实现上述目的，本专利技术采取如下技术方案：
3、本专利技术提供了一种锑基薄膜的退火方法，包括：
4、将锑基薄膜置...
【技术保护点】
1.一种锑基薄膜的退火方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述第一时间段在25-35s之间，所述第一温度在400-500℃之间，所述第二时间段在5-7min之间。
3.如权利要求1所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述还原气体为氢气、硒化氢、硫化氢、硒蒸汽或硫蒸气；和/或，
4.如权利要求1所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述向所述箱体内输入第一气体，具体包括：持续所述箱体内输入所述第一气体，并排出所述箱体内的气体，以使所述锑基薄膜处于流动的所述第一气体中。
5.如权...
【技术特征摘要】
1.一种锑基薄膜的退火方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述第一时间段在25-35s之间，所述第一温度在400-500℃之间，所述第二时间段在5-7min之间。
3.如权利要求1所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述还原气体为氢气、硒化氢、硫化氢、硒蒸汽或硫蒸气；和/或，
4.如权利要求1所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述向所述箱体内输入第一气体，具体包括：持续所述箱体内输入所述第一气体，并排出所述箱体内的气体，以使所述锑基薄膜处于流动的所述第一气体中。
5.如权利要求4所述的锑基薄膜的退火方法，其特征在于，所述第一气体的输入流量设置为1-3l/min。
6.一种锑基薄膜太阳能电池制作方法，其特征在于，包括：
7.如权利要求6所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，李月含，韩文轩，宋建民，曾浩宇，
申请(专利权)人：河北农业大学，
类型：发明
国别省市：
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