下载一种锑基薄膜退火方法、锑基薄膜太阳能电池制作方法及锑基薄膜退火装置的技术资料

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本发明公开了一种锑基薄膜退火方法、锑基薄膜太阳能电池制作方法及锑基薄膜退火装置,包括;将锑基薄膜置于箱体内,向所述箱体内输入第一气体,以使所述锑基薄膜处于所述第一气体中;所述第一气体包括保护气体和/或还原气体;将锑基薄膜的温度在第一时间段内...
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