【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及小型精密设备的机械要素或光学要素等的微驱动机构，具体是指一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台。
技术介绍
1、微位移平台作为高精密设备的载物或者定位系统的重要部件，可进行距离精度极高的位移调整，其精度可达到纳米级别，称为纳米微动平台，现有的纳米微动平台普遍采用柔性梁作为传递形变微动位移的传动件，因此，受其结构原理限制，位移或微动的行程非常有限，不能适用于既要求可大行程位移输入，又具有纳米级微动和纳米级分辨率的位移控制；且现存纳米位移台普遍采用压电陶瓷致动器驱动，成本较高；另外，现有的大行程移动机构的调整精度大多为十微米级，同样无法满足上述双重需求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：
3、一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台，包括行程输入模块、纳米级调节模块、底板以及立式基板，立式基板竖直固定设...
【技术保护点】
1.一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台，其特征在于：包括行程输入模块、纳米级调节模块、底板以及立式基板，所述立式基板竖直固定设于所述底板上，所述行程输入模块与所述纳米级调节模块连接，并分别设置于所述立式基板的两侧，其中；
2.根据权利要求1所述的大行程手动位移平台，其特征在于：所述传动构件为三角形结构，其可转动安装于所述立式基板的另一侧平面上，所述传动构件具有输入型面和输出型面，所述粗调微分头的输入凸杆端面触压于所述输入型面，以输入水平位移，所述传动凸杆的下端面触压于所述输出型面上，同步驱动所述微米级动平台。
3.根据权利要求2所述的大行...
【技术特征摘要】
1.一种纳米级分辨率输出的大行程手动位移平台，其特征在于：包括行程输入模块、纳米级调节模块、底板以及立式基板，所述立式基板竖直固定设于所述底板上，所述行程输入模块与所述纳米级调节模块连接，并分别设置于所述立式基板的两侧，其中；
2.根据权利要求1所述的大行程手动位移平台，其特征在于：所述传动构件为三角形结构，其可转动安装于所述立式基板的另一侧平面上，所述传动构件具有输入型面和输出型面，所述粗调微分头的输入凸杆端面触压于所述输入型面，以输入水平位移，所述传动凸杆的下端面触压于所述输出型面上，同步驱动所述微米级动平台。
3.根据权利要求2所述的大行程手动位移平台，其特征在于：所述底板上设置有回位弹簧，所述回位弹簧上端与所述微米级动平台连接，用于产生回复力。
4.根据权利要求1所述的大行程手动位移平台，其特征在于：所述柔性铰链机构包括一体成型的平台安装板、导向平行梁、传动柔性梁、输入平台以及基座，所述基座呈u形结构，其包括两侧的侧基板和底部的底基板，所述基座与所述平台安装板具有共线并沿z轴向的结构对称中心线，所述精调微分头位于所述结构对称中心线一侧，所述输入平台仅具有横向自由度，用于接受所述精调微分头的水平位移输入，并同步驱动其上设置的所述传动柔性梁的下端，所述传动柔性梁上端连接所述平台安装板，所述平台安装板上端面设置所述纳米级动平台，其两侧通过对称设置的所述导向平行...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔良玉，韩建鑫，
申请(专利权)人：天津纳微机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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