【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测量，尤其是涉及柔性电子器件及三维力检测方法、传感器及其制备方法。
技术介绍
1、柔性电子器件比传统刚性电子器件具有更好的柔韧性和延展性，能够更好的满足各种复杂物体表面的传感要求，但是柔性电子器件在灵敏度、动态范围、三维力检测精度方面较刚性传感器还存在一定差距。因此，研究能够满足高灵敏度、宽动态范围且能够实时检测三维力的柔性传感器显得尤为重要。
2、目前，影响柔性电子器件发展的关键因素是柔性材料的研制和微结构的设计，如何通过这两方面的结合实现触觉传感成为待解决的难题。触觉传感在前期的研发中主要侧重于正压力的感知，对于更复杂的受力判断，比如机械手抓取脆性或柔性物体，需要同时控制抓取力的大小和方向确保不发生相对滑动，实现界面正压力和切应力的检测与方向判断，这就依赖于触觉传感器力检测功能的三维化。
3、因此，如何提高触觉传感器的灵敏度，实现对三维化的高精度检测是本专利技术要解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种机器人及其三维力检测方法、...
【技术保护点】
1.一种传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，该盖帽是灌封形成的柔性结构，所述柔性结构为圆形盒状或方形盒状，所述微凸起结构为方柱或圆柱或金字塔形。
3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述至少一个微凸起结构为四个微凸起结构，所述至少一个圆柱结构为一个圆柱结构，该盖帽包括至少一个微凸起结构和至少一个圆柱结构包括：
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，该敏感芯片还包括：
5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述至少一条悬臂梁为四条悬臂梁，所述至少一个凹槽为一个凹槽，所...
【技术特征摘要】
1.一种传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，该盖帽是灌封形成的柔性结构，所述柔性结构为圆形盒状或方形盒状，所述微凸起结构为方柱或圆柱或金字塔形。
3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述至少一个微凸起结构为四个微凸起结构，所述至少一个圆柱结构为一个圆柱结构，该盖帽包括至少一个微凸起结构和至少一个圆柱结构包括：
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，该敏感芯片还包括：
5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述至少一条悬臂梁为四条悬臂梁，所述至少一个凹槽为一个凹槽，所述至少一个压力敏感...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘军，罗家栋，钱满满，刘欣，王晓伟，程金晶，彭朱容，郑士瑜，董杨，
申请(专利权)人：青岛智腾微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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