一种无轴漂的压电驱动微转台制造技术

本发明专利技术公开了一种无轴漂的压电驱动微转台，仅采用一压电陶瓷驱动器作为驱动源，其包括一体结构的固定部、输出平台、驱动机构及斜柔性梁，输出平台绕其微转中心转动并位于固定部的平台空间内，驱动机构与固定部柔性连接，用于将压电陶瓷驱动器的输入量进行单轴方向的直线位移输出，斜柔性梁和与其输入端连接的驱动机构的位移输出线形成驱动角a，并偏离微转中心设置，用于与驱动机构协同变形将压电陶瓷驱动器的线性输入量转化为输出平台的微转角位移；该微转台采用单一压电陶瓷驱动器进行驱动，通过驱动机构和斜柔性梁的协同作用将线性输入量转化为微转角位移，其具有易于控制，运动简单可靠，输出精度高，微转台整体结构简单小巧，性价比高。性价比高。性价比高。

【技术实现步骤摘要】
一种无轴漂的压电驱动微转台


[0001]本专利技术涉及小型精密设备的机械要素或光学要素等的微驱动机构
，具体是指一种无轴漂的压电驱动微转台。

技术介绍

[0002]微纳定位可以实现微米级或者纳米级别的定位，随着科技越来越发达，微纳定位系统的应用也越来越广泛，在航空航天、机械电子、医疗卫生领域以及日常生活中都有所体现。微纳定位平台作为微纳定位系统的重要部件，一般分为驱动机构与导向机构两部分，同时微纳定位平台也是连接宏观与微观的重要一环，因此对其的研究尤为重要。但是随着扫描探针显微镜、生物医疗方向、精密制造技术以及芯片的高速发展，人们对微纳定位平台的定位精度及行程等性能也逐渐提升。
[0003]目前针对微纳定位平台的研究基本上平动的居多，因为平动的定位平台没有柔性铰链寄生运动而产生的误差，平动的微纳定位平台误差较小，有利于研究和保证精度。而做旋转运动的定位平台有轴漂运动产生的误差，没有一个准确的旋转中心，微旋转定位平台的设计要考虑这方面带来的误差；因此对于单自由度微旋转定位转台的研究较少。
[0004]而在针对微旋转定位平台的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无轴漂的压电驱动微转台，其特征在于:仅采用一压电陶瓷驱动器作为驱动源，其包括一体结构的：固定部，具有平台空间；输出平台，绕其微转中心转动，位于所述固定部的所述平台空间内；驱动机构，用于将输入量进行单轴方向的直线位移输出，与所述固定部柔性连接；斜柔性梁，与所述驱动机构连接，用于与所述驱动机构协同作用以在所述输出平台上产生至少两个不同方向的切向分力，所述斜柔性梁和与其输入端连接的所述驱动机构的位移输出线形成驱动角a ，0＜a≤45
°
，并偏离所述微转中心设置，以对所述输出平台施加偏心致动力。2.根据权利要求1所述的压电驱动微转台，其特征在于：所述驱动机构为两个，对称设置于所述微转中心的左右两侧，所述驱动机构呈T形结构，包括驱动部和导向部，所述导向部两端对称于所述位移输出线，并与所述固定部柔性连接，所述压电陶瓷驱动器安装于两个所述驱动部端面之间，经两个所述驱动机构传递输出两对称相反并沿所述微转中心的所述直线位移，且两个所述直线位移对称于所述微转中心，一所述驱动部的前侧面与所述输出平台通过所述斜柔性梁连接，另一所述驱动部的后侧面与所述输出平台通过所述斜柔性梁连接，两个所述斜柔性梁为旋转对称设置，且同为受拉柔性梁或受压柔性梁，记为第一斜柔性梁。3.根据权利要求2所述的压电驱动微转台，其特征在于：一所述驱动部的后侧面与所述输出平台通过平行于所述第一斜柔性梁的第二斜柔性梁连接，另一所述驱动部的前侧面与所述输出平台通过平行于所述第一斜柔性梁的第二斜柔性梁连接，所述第一斜柔性梁和所述第二斜柔性梁相错布置于各自的所述驱动部上，两个所述第二斜柔性梁同样为旋转对称设置，所述第二斜柔性梁与所述第一斜柔性梁的受力形式相反，且所述第二斜柔性梁和所述第一斜柔性梁的驱动角均为a=45
°
。4.根据权利要求3所述的压电驱动微转台，其特征在于：两根所述第一斜柔性梁和两根所述第二斜柔性梁与所述输出平台连接的连接点分布于同一个驱动圆上，所述驱动圆的圆心即为所述微转中心。5.根据权利要求2至4中任一项所述的压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔良玉，韩建鑫，马鹏飞，钟俊杰，
申请(专利权)人：天津纳微机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：