一种基于液压放大的压电微动平台制造技术

本发明专利技术提供一种基于液压放大的压电微动平台，包括压电驱动模块、液压放大模块、导轨模块、位移检测模块、底板、静平台、动平台；x轴导轨模块和y轴导轨模块安装在动平台两侧表面，位移检测模块分别安装在x轴导轨模块和y轴导轨模块上；x轴压电驱动模块和x轴液压放大模块固定在底板上，x轴压电驱动模块和x轴液压放大模块驱动连接，x轴液压放大模块和y轴位移检测模块固定连接；y轴压电驱动模块和y轴液压放大模块均固定在底板上，y轴压电驱动模块和y轴液压放大模块驱动连接，y轴液压放大模块和x轴位移检测模块固定连接。本发明专利技术将压电驱动器与液压位移放大机构结合起来，提供了一种两自由度压电微动平台，运动范围大、控制精度高。控制精度高。控制精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种基于液压放大的压电微动平台


[0001]本专利技术涉及精密运动平台
，具体涉及一种基于液压放大的压电微动平台。

技术介绍

[0002]近年来，随着科学技术的发展，在精密机械加工、航空航天、精密测量、生物医药工程、微机电等行业中，精密运动平台的应用需求越来越多。但同时对其位移输出精度、可控性提出了更高的要求。基于压电驱动的两自由运动平台能实现平面内xy两个方向的运动与精密定位，具有精度高，控制方法灵活、整体结构简单等优点，是一种常见的精密运动平台。
[0003]压电陶瓷驱动器具有响应速度快、便于控制等优点，使其常作为精密运动平台的微位移驱动器，但由于其输出位移较小，因此，在具体应用时一般要设计其微位移放大装置。常用的压电陶瓷驱动器位移放大机构主要有弹性铰链放大机构和液压放大机构两类。
[0004]目前有很多学者对两自由的压电运动平台进行研究，例如中国专利“一种二自由度压电驱动纳米定位平台”(授权号CN104595642B)，利用弹性铰链作为运动副，通过其微形变来传递和解耦运动，减小了装配过程中引入的间隙误差，提高了运动传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于液压放大的压电微动平台，其特征在于，包括x轴压电驱动模块(
Ⅰ‑
1)、x轴液压放大模块(
Ⅰ‑
2)、x轴导轨模块(
Ⅰ‑
3)、x轴位移检测模块(
Ⅰ‑
4)、y轴压电驱动模块(
Ⅱ‑
1)、y轴液压放大模块(
Ⅱ‑
2)、y轴导轨模块(
Ⅱ‑
3)、y轴位移检测模块(
Ⅱ‑
4)、底板(5)、静平台(6)、动平台(7)和控制器(11)；所述静平台(6)通过底板螺钉(10)固定在底板(5)上，所述动平台(7)和静平台(6)活动连接；所述x轴导轨模块(
Ⅰ‑
3)和y轴导轨模块(
Ⅱ‑
3)分别安装在动平台(7)相邻的两侧表面，所述x轴位移检测模块(
Ⅰ‑
4)和y轴位移检测模块(
Ⅱ‑
4)分别安装在x轴导轨模块(
Ⅰ‑
3)和y轴导轨模块(
Ⅱ‑
3)上；所述x轴压电驱动模块(
Ⅰ‑
1)和x轴液压放大模块(
Ⅰ‑
2)均固定在底板(5)上，所述x轴压电驱动模块(
Ⅰ‑
1)和x轴液压放大模块(
Ⅰ‑
2)驱动连接，所述x轴液压放大模块(
Ⅰ‑
2)和y轴位移检测模块(
Ⅱ‑
4)固定连接；所述y轴压电驱动模块(
Ⅱ‑
1)和y轴液压放大模块(
Ⅱ‑
2)均固定在底板(5)上，所述y轴压电驱动模块(
Ⅱ‑
1)和y轴液压放大模块(
Ⅱ‑
2)驱动连接，所述y轴液压放大模块(
Ⅱ‑
2)和x轴位移检测模块(
Ⅰ‑
4)固定连接；所述控制器(11)用于输出电信号，控制x轴压电驱动模块(
Ⅰ‑
1)和/或y轴压电驱动模块(
Ⅱ‑
1)输出位移，进而分别驱动对应的液压放大模块输出放大的位移，并推动动平台(7)移动。2.根据权利要求1所述的一种基于液压放大的压电微动平台，其特征在于，所述x轴压电驱动模块(
Ⅰ‑
1)和y轴压电驱动模块(
Ⅱ‑
1)均包括侧板(1
‑
1)和压电陶瓷驱动器(1
‑
3)，所述侧板(1
‑
1)通过第一安装螺钉(1
‑
4)和底板(5)固定连接，所述压电陶瓷驱动器(1
‑
3)通过陶瓷安装螺钉(1
‑
2)和侧板(1
‑
1)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种基于液压放大的压电微动平台，其特征在于，所述x轴液压放大模块(
Ⅰ‑
2)和y轴液压放大模块(
Ⅱ‑
2)均包括第一腔体(2
‑
2)、第二腔体(2
‑
4)和第三腔体(2
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：许有熊，庄广锋，朱松青，刘娣，杨柳，高海淘，
申请(专利权)人：南京工程学院，
类型：发明
国别省市：