【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，特别是涉及一种夹具的连接结构。
技术介绍
1、晶圆夹具装置是晶圆老化设备中的重要组成部分，晶圆夹具具有中空的腔体，该腔体用以放置待测试的晶圆，现有技术中，当晶圆放置在腔体内后，通过螺栓结构将夹具的上盖板和热沉锁合在一起，以形成完整的腔体。
2、当老化测试结束后，需要打开该腔体，将晶圆取出并放置新的晶圆，然而由于晶圆夹具体积较大，现有技术中一般采用螺栓结构来固定，然而通过螺栓固定时，在拆卸和安装时，由于螺栓的单独性，使其易掉落，不易收集和存放，从而影响工作效率。
技术实现思路
1、本技术的一个目的是要提供一种夹具的连接结构，以解决现有技术中晶圆夹具在拆卸时，螺栓易掉落且不容易收集的问题。
2、特别地，本技术提供了一种夹具的连接结构，所述夹具包括由下至上依次设置的热沉、pcb板和盖板，所述盖板的顶部设有多个凹槽，所述盖板的底部设有多个限位部，所述夹具还包括多个连接结构，每个所述连接结构对应一个所述凹槽和一个所述限位部，所述连接结构包括：
3...
【技术保护点】
1.一种夹具的连接结构，其特征在于，所述夹具包括由下至上依次设置的热沉、PCB板和盖板，所述盖板的顶部设有多个凹槽，所述盖板的底部设有多个限位部，所述夹具还包括多个连接结构，每个所述连接结构对应一个所述凹槽和一个所述限位部，所述连接结构包括：
2.根据权利要求1所述的连接结构，其特征在于，所述连接结构还具有外螺帽，所述外螺帽与所述连接杆连接且与所述弹性件的另一端抵接。
3.根据权利要求2所述的连接结构，其特征在于，所述外螺帽还设置有裙边，所述裙边具有限位槽，所述弹性件的一端抵接在所述限位槽内，另一端抵接在所述凹槽内。
4.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种夹具的连接结构，其特征在于，所述夹具包括由下至上依次设置的热沉、pcb板和盖板，所述盖板的顶部设有多个凹槽，所述盖板的底部设有多个限位部，所述夹具还包括多个连接结构，每个所述连接结构对应一个所述凹槽和一个所述限位部，所述连接结构包括：
2.根据权利要求1所述的连接结构，其特征在于，所述连接结构还具有外螺帽，所述外螺帽与所述连接杆连接且与所述弹性件的另一端抵接。
3.根据权利要求2所述的连接结构，其特征在于，所述外螺帽还设置有裙边，所述裙边具有限位槽，所述弹性件的一端抵接在所述限位槽内，另一端抵接在所述凹槽内。
4.根据权利要求1所述的连接结构，其特征在于，所述连接杆具有轴向设置的第一子连杆和第二子连杆，所述第一子连杆的半径小于所述第二子连杆的半径。
5.根据权利要求4所述的连接结构，其特征在于，所述第一子连杆和所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：廉哲，张爱林，郭孝明，徐鹏嵩，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。