用于离子注入机的离子源拆装定位组件制造技术

本技术涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种用于离子注入机的离子源拆装定位组件。本技术用于离子注入机的离子源拆装定位组件，包括：滑轨安装架，安装于所述离子注入机外壁，用于安装滑轨；滑轨，安装于所述滑轨安装架上；滑块，可拆卸的穿设于所述滑轨上，能够沿所述滑轨滑动；离子源安装架，与所述滑块连接，随所述滑块移动；所述离子源安装架上安装有离子源，所述离子源在所述滑块的带动下平行于所述滑轨移动。通过本技术提供的离子源拆装定位组件，可精准的进行离子源的拆装，避免离子源拆装过程中产生摩擦、磕碰、跌落导致离子源损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件制造，尤其涉及一种用于离子注入机的离子源拆装定位组件。

技术介绍

1、离子注入机是半导体器件制造过程中常用设备，离子源是离子注入机的核心部件，用于把需要注入的元素气态粒子电离成离子，其决定要注入离子的种类和束流强度。离子源中包含的灯丝、阴极、反射板等耗材需经常更换，因此需经常拆装离子源。

2、离子源属精密部件，其单体重量在十公斤左右，现有拆装均靠人工，由于其单体重量较重，单人拆装时较为费力，加之拆装离子源时还需保持离子源相对于离子注入机腔室的平行装入或平行拆出，时常出现因难以保持平行导致的离子源与离子注入机间的摩擦、磕碰，甚至跌落损坏。

3、因此，需提供一种用于离子注入机的离子源拆装定位组件，用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于离子注入机的离子源拆装定位组件，用于精准的进行离子源的拆装，避免离子源拆装过程中产生摩擦、磕碰、跌落导致离子源损坏的问题。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术提供的离子注本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于离子注入机的离子源拆装定位组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：所述离子源安装架为H形支架。

3.根据权利要求2所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：与所述H形支架顶端相对应的，在所述滑轨安装架上设有2条滑轨，所述2条滑轨分别安装有滑块，所述H形支架顶端分别与所述滑块连接。

4.根据权利要求3所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：在所述H形支架与所述离子源之间还设有L形支架，L形支架短边末端垂直方向延伸出一连接部。

5.根据权利要求4所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：所述L形支架为2个...

【技术特征摘要】

1.用于离子注入机的离子源拆装定位组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：所述离子源安装架为h形支架。

3.根据权利要求2所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：与所述h形支架顶端相对应的，在所述滑轨安装架上设有2条滑轨，所述2条滑轨分别安装有滑块，所述h形支架顶端分别与所述滑块连接。

4.根据权利要求3所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：在所述h形支架与所述离子源之间还设有l形支架，l形支架短边末端垂直方向延伸出一连接部。

5.根据权利要求4所述的离子源拆装定位组件，其特征在于：所述l形支架为2个。

6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：董建浩，任晖，刘建夺，倪宝岩，母凤文，郭超，
申请(专利权)人：青禾晶元天津半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：