一种晶体生长装置和方法以及单晶硅棒制造方法及图纸

技术编号:41537140 阅读:21 留言:0更新日期:2024-06-03 23:15
本申请提供了一种晶体生长装置和方法以及单晶硅棒。所述晶体生长装置包括:晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长装置包括:炉体以及设置在所述炉体内的坩埚、加热器以及保温结构;其中,所述加热器至少部分设置在所述坩埚的侧面,所述保温结构套设在所述加热器外;所述保温结构沿所述炉体径向的厚度满足第一预设范围。本申请的晶体生长晶体生长装置可以避免被冷却介质带走的能量损耗,实现降功耗的目的,降低所述单晶硅棒的拉制成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于光伏加工,具体涉及一种晶体生长装置、一种晶体生长方法以及一种单晶硅棒。


技术介绍

1、近年来,光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由单晶硅棒进行切片处理得到,单晶硅棒则可以由硅料生长拉制而成。在具体的应用中,单晶炉内通常设置有加热器,以通过加热器提供热量熔化硅料,为了便于操作人员在单晶炉炉体外进行操作,单晶炉炉体的温度通常需要控制在一定的范围之内。

2、现有的技术中,为了将单晶炉炉体的温度控制到合适的范围,通常需要将单晶炉炉体上设置水冷夹层。在单晶炉工作时,根据工艺需求向水冷夹层内通入冷却介质,以达到冷却降温的目的。然而,尽管冷却介质可以循环利用,在冷却介质循环过程中炉内热量只能通过耗散进入环境,无法被有效利用,从而,增加了单晶硅棒的生产成本。


技术实现思路

1、本申请旨在提供一种晶体生长装置、晶体生长方法以及一种单晶硅棒,以解决现有的晶体生长装置功耗较大,拉晶生本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长装置包括:炉体以及设置在所述炉体内的坩埚、加热器以及保温结构;其中,

2.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述保温结构包括保温筒以及保温毡;其中,

3.根据权利要求2所述的的晶体生长装置,其特征在于,所述保温毡包括多层子保温毡,相邻的两层所述子保温毡连接,多层所述子保温毡的整体厚度满足所述第二预设范围。

4.根据权利要求2所述的晶体生长装置,其特征在于,所述第二预设范围为120-180毫米。

5.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述第一预设范围为240-360毫米。<...

【技术特征摘要】

1.一种晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长装置包括:炉体以及设置在所述炉体内的坩埚、加热器以及保温结构;其中,

2.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述保温结构包括保温筒以及保温毡;其中,

3.根据权利要求2所述的的晶体生长装置,其特征在于,所述保温毡包括多层子保温毡,相邻的两层所述子保温毡连接,多层所述子保温毡的整体厚度满足所述第二预设范围。

4.根据权利要求2所述的晶体生长装置,其特征在于,所述第二预设范围为120-180毫米。

5.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述第一预设范围为240-360毫米。

6.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述炉体的侧板在与所述保温结构相邻的一侧设置有反射件,所述反射件的反射率满足第三预设范围。

7.根据权利要求6所述的晶体生长装置,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:乔文沛谢志宴朱永刚梁永生杜超韩伟刘兵韩昀钊赵炜杜倩
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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