外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置及其测试方法制造方法及图纸

外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置及其测试方法，涉及外差干涉仪高精度位移测量以及干涉信号处理领域。解决现有仅在中心频率处测试分辨力的方法，存在的测试结果不完整的问题。装置采用光束调制系统产生频率可控的强度调制光，并射入消偏振分光棱镜中，消偏振分光棱镜用于将入射光分成测量光和参考光，测量光射入耦合器1中，经过耦合后射入信号处理板卡中，参考光射入耦合器2中，经过耦合后射入信号处理板卡中，信号处理板卡用于根据接收的测量光和参考光解算相位差；耦合器2用于在导轨上的作用下，实现在参考光与测量光之间引入等间隔相移。本发明专利技术适用于商用外差干涉仪信号处理环节的分辨力测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及外差干涉仪高精度位移测量以及干涉信号处理领域。

技术介绍

1、自从上世纪70年代第一台商用干涉仪问世以来，外差激光干涉仪凭借其分辨力高、抗干扰能力强、非接触测量、可直接溯源至长度标准等优势，被广泛应用于精密工程、半导体刻蚀、传感器校准等各种精密计量与制造领域。而作为外差干涉仪中将位移信息由光信号中提取出来的核心部件——信号处理环节，其所能测量的最小位移，即分辨力，是评定外差干涉仪测量精度重要指标之一。因此，对信号处理环节进行完整、有效且高精度的分辨力测试对外差干涉仪性能评定与优化具有十分重要的意义。

2、外差干涉仪的信号处理环节主要由光电探测，电信号采集以及相位解算组成。其中，光电探测所代表的光信号到电信号这一转换过程的信噪比，影响着最终相位解算的精度；其次，电信号采集过程中采样频率、采样精度同样制约着相位解算的分辨力；最后，实现相位解算所使用的方法，如：锁相放大、过零比较等，也决定了其分辨相位的能力。因此，若要对外差干涉仪信号处理环节进行分辨力测试，就需要针对这三部分所组成的整体进行评定。

3、目前，对外差干涉仪信号本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，所述装置包括光束调制系统、消偏振分光棱镜、耦合器1、耦合器2、导轨和信号处理板卡；

2.根据权利要求1所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，所述凸透镜1的焦点为声光调制器AOM的入射点。

4.根据权利要求3所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，光束射入所述声光调制器AOM的入射角为布拉格角。

5.根据权利要求4所述的外差激光干涉仪信号处理...

【技术特征摘要】

1.外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，所述装置包括光束调制系统、消偏振分光棱镜、耦合器1、耦合器2、导轨和信号处理板卡；

2.根据权利要求1所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，所述凸透镜1的焦点为声光调制器aom的入射点。

4.根据权利要求3所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，光束射入所述声光调制器aom的入射角为布拉格角。

5.根据权利要求4所述的外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置，其特征在于，所述装置还包括角锥棱镜；

6.根据权利要求1所述的外差激光干涉仪信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢旭，孙云科，李文俊，王嘉宁，胡鹏程，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：