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外差激光干涉仪信号处理环节分辨力的通用测试装置及其测试方法，涉及外差干涉仪高精度位移测量以及干涉信号处理领域。解决现有仅在中心频率处测试分辨力的方法，存在的测试结果不完整的问题。装置采用光束调制系统产生频率可控的强度调制光，并射入消偏振分光...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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