降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置及工艺制造方法及图纸

本发明专利技术降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的工艺装置，包括阳极筒，其特征在于所述阳极筒的外侧套装设有阳极套筒，阳极套筒由膨胀系数小于铜的膨胀系数的材料制成，阳极套筒与阳极筒之间为小间隙配合；本发明专利技术降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的工艺，包括如下步骤：１、室温状态下，将阳极套筒套在阳极筒的外侧；２、将上述套有阳极套筒的磁控管放入排气设备中，排气设备升温，在高温环境中将磁控管的阳极筒内的空气排出阳极筒，使阳极筒处于真空状态，然后冷却至室温；３、在室温状态下从磁控管的阳极筒上取下阳极套筒。本发明专利技术工艺装置及方法降低了阳极筒表面氧化层的厚度，提高了磁控管的散热效果，提高了磁控管的工作性能，延长了磁控管的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置及工艺，属于降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置及工艺的改进技术。
技术介绍
磁控管是一种真空电子部件，抽真空工艺是制作过程中必不可少的过程，为提高 磁控管的真空度，将磁控管置于高温环境中进行排气抽真空是行业内普遍采用方式。在行 业内，磁控管阳极筒采用无氧铜材料，而在排真空期间的部分阶段，磁控管的温度必须达到 550度以上的高温，然而，在这样的高温环境下无氧铜会被氧化，在阳极筒表面形成一层致 密的氧化铜层，其厚度常可达O. Olrnm以上。磁控管工作过程中阳极筒散热是通过散布于阳 极筒表面的散热片来实现的，因阳极筒表面形成一层致密的氧化铜层，其热传导性能差，严 重影响了阳极筒向散热片进行热量传输，导致整个磁控管的散热性能降低，磁控管工作时 阳极温度变高，阳极筒表面氧化层越厚，磁控管的散热性能越差，工作时磁孔管的工作温度 越高，工作性能也就越低，也降低了磁控管的使用寿命。 目前对阳极筒氧化层的处理方法有以下两种一种是采用快速转动的铜丝刷将氧 化层比较松动的部分刷去，但由于氧化层绝大部分是致密的，松动部分很少，所以实际效果 很有限，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置，包括磁控管阳极筒（５），其特征在于所述阳极筒（５）的外侧套装设有阳极套筒（４），阳极套筒（４）由膨胀系数小于铜的膨胀系数的材料制成，阳极套筒（４）与阳极筒（５）之间为小间隙配合。

【技术特征摘要】
一种降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置，包括磁控管阳极筒(5)，其特征在于所述阳极筒(5)的外侧套装设有阳极套筒(4)，阳极套筒(4)由膨胀系数小于铜的膨胀系数的材料制成，阳极套筒(4)与阳极筒(5)之间为小间隙配合。2. 根据权利要求1所述的降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置，其特征在上述阳极套筒(4)为高温合金制成。3. 根据权利l所述的降低磁控管阳极筒表面氧化层厚度的装置，其特征在于上述阳极套筒(4)与阳极筒(5)之间的间隙为0 < w《0. 5mm。4. 根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴添洪，刘志勇，王贤友，王彩育，沈庚麟，
申请(专利权)人：美的集团有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]